具体描述
奈米薄膜材料具有特殊的物理和化学特性，在奈米电子学中有很重要的应用前景。本书主要介绍了当前有关奈米薄膜的制造、元件和应用中较前瞻的内容和资料，详细地阐述了中外该领域的发展动向及趋势。内容包括：奈米薄膜材料的基本概念；材料的制造方法以及物理、化学性能；半导体奈米量子点；Si基奈米薄膜与元件；奈米薄膜的电子转移和单电子电导等。
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