半導體製程設備(四版) pdf epub mobi txt 電子書下載 2024

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出版者齣版社：五南訂閱齣版社新書快訊新功能介紹

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出版日期齣版日期：2009/09/01

語言語言：繁體中文

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發表於2024-11-15

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圖書描述

　　半導體元件由矽土製成矽晶圓，再經數百個製程步驟，纔製作齣256M級的DRAM。這期間所使用的機器，主要的也不過十數種。晶圓成長爐、磊晶反應器、步進照像儀、化學氣相沉積爐、氧化和擴散高溫爐、離子植入機、乾蝕刻機、電子束蒸鍍機、濺鍍機、化學機械研磨機等。以及封裝製程設備、真空幫浦及係統洗淨機器等主要支援設備。本書對這些機器的構造和操作原理都有詳盡的敘述。

　　砷化鎵Ⅲ–Ⅴ化閤物半導體製程，如金屬有機化學氣相沉積爐、分子束磊晶和銅製程使用設備、低介電常數介電製作設備以及一些2000韆禧年推齣的新機器，也都在本書有詳盡的敘述，次世代先進的製程設備也有一些介紹。本書是編著者纍積多年經驗、費時一年而完成的。期望能給想從事半導體業的同學們一項內容豐富有力的教科書。給業界的工程師、研究生、教授老們一項便捷的參考。

【作者簡介】

張勁燕

現職：逢甲大學電子係副教授
學曆：交通大學電子工程研究所博士
經曆：新加坡Intersil電子公司工程師
　　　ITT環宇電子公司工程部經理
　　　颱灣電子電腦公司半導體廠廠長
　　　萬邦電子公司總工程師
　　　明新工專電子科副教授（或兼科主任）
　　　逢甲大學電機係副教授（或兼係主任）
專長：半導體元件、物理
　　　VLSI製程設備及廠務
　　　奈米科技
　　　積體電路構裝