具体描述
本书分为七章，内容由浅入深包括重要的气体理论、应用真空的基本原理、真空中气体的性质及真空中的气流形态、真空范围的区分、真空技术应用的范围等。抽真空的方法有各类帮浦的介绍包括原理、构造、操作及应用等。真空量测包含介绍各类真空计及其校正、真空的基本量，如抽气速率、气流通量及气导的测定、真空系统计算包括管路气导、薄壁上孔道的气导、有效抽气速率、抽气速率损失、气体分子的平均自由动径、气体分子撞击率及单分子层附着时间等的计算。真空系统的测漏包括测漏仪、找漏孔及堵漏、真空系统的污染包括防止及消除污染的方法、系统烘烤对真空度的影响。此外并介绍常用的真空制程、高科技真空制程及镀膜技术。
本书可使入门者循序渐进的学习，亦可作为熟悉真空科技者有系统复习的参考资料。本书可供真空技术课程的用书，及从事与真空相关的科技人员的参考书。
作者简介
苏青森
现职：国立清华大学兼任教授
学历：美国伦色列理工学院博士
经历：国立清华大学原子科学院教授、院长
行政院原子能委员会副主任委员
著者信息
图书目录
Chapter １ 真空的基本观念
1.1 从历史发展认识真空
1.2 绝对真空与真空的定义
1.3 真空压力与真空度
1.4 自然界的真空
1.5 真空技术的基本量
1.6 真空系统的特征
1.7 真空应用
Chapter ２ 真空中的气体与气流
2.1 气体与真空压力
2.2 部分压力与总压力
2.3 真空中的气流形态
2.4 真空区分
2.5 真空有关的气体理?
Chapter ３ 产生真空的方法
3.1 真空帮浦
3.2 粗略真空到中度真空抽气用的帮浦
3.3 高真空到超高真空抽气用的帮浦
3.4 抽真空系统的帮浦组合
Chapter ４ 真空量测
4.1 真空量测的基本量
4.2 真空中气体的压力
4.3 粗略到中度真空范围用的真空计
4.4 高真空及超高真空范围用的真空计
4.5 部分压力分析仪
4.6 真空计的校正
4.7 抽气速率的测定
4.8 气流通量的测定
4.9 气导的测定
Chapter ５ 真空系统与计算
5.1 真空系统
5.2 真空系统管路气导的计算
5.3 管路气导的计算公式
5.4 薄壁上孔道的气导
5.5 管路中空气以外其他气体的气体
5.6 真空系统有效抽气速率
5.7 抽气速率损失
5.8 气体分子的平均自由动径
5.9 气体分子间平均碰冲率
5.10 单分子层附着时间
Chapter ６ 测漏技术与清洁方法
6.1 真空系统的漏气
6.2 找漏与堵漏
6.3 真空系统的污染
6.4 清洁的方法
6.5 真空系统烘烤
Chapter ７ 真空制程
7.1 常用的真空制程
7.2 高科技真空制程
7.3 镀膜技术简介
图书序言
图书试读
用户评价
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