本书分为七章，内容由浅入深包括重要的气体理论、应用真空的基本原理、真空中气体的性质及真空中的气流形态、真空范围的区分、真空技术应用的范围等。抽真空的方法有各类帮浦的介绍包括原理、构造、操作及应用等。真空量测包含介绍各类真空计及其校正、真空的基本量，如抽气速率、气流通量及气导的测定、真空系统计算包括管路气导、薄壁上孔道的气导、有效抽气速率、抽气速率损失、气体分子的平均自由动径、气体分子撞击率及单分子层附着时间等的计算。真空系统的测漏包括测漏仪、找漏孔及堵漏、真空系统的污染包括防止及消除污染的方法、系统烘烤对真空度的影响。此外并介绍常用的真空制程、高科技真空制程及镀膜技术。

　　本书可使入门者循序渐进的学习，亦可作为熟悉真空科技者有系统复习的参考资料。本书可供真空技术课程的用书，及从事与真空相关的科技人员的参考书。 

作者简介

苏青森

现职：国立清华大学兼任教授
学历：美国伦色列理工学院博士
经历：国立清华大学原子科学院教授、院长
　　　行政院原子能委员会副主任委员 

Chapter １　真空的基本观念
　　1.1　从历史发展认识真空
　　1.2　绝对真空与真空的定义
　　1.3　真空压力与真空度
　　1.4　自然界的真空
　　1.5　真空技术的基本量
　　1.6　真空系统的特征
　　1.7　真空应用

Chapter ２　真空中的气体与气流
　　2.1　气体与真空压力
　　2.2　部分压力与总压力
　　2.3　真空中的气流形态
　　2.4　真空区分
　　2.5　真空有关的气体理?

Chapter ３　产生真空的方法
　　3.1　真空帮浦
　　3.2　粗略真空到中度真空抽气用的帮浦
　　3.3　高真空到超高真空抽气用的帮浦
　　3.4　抽真空系统的帮浦组合

Chapter ４　真空量测
　　4.1　真空量测的基本量
　　4.2　真空中气体的压力
　　4.3　粗略到中度真空范围用的真空计
　　4.4　高真空及超高真空范围用的真空计
　　4.5　部分压力分析仪
　　4.6　真空计的校正
　　4.7　抽气速率的测定
　　4.8　气流通量的测定
　　4.9　气导的测定

Chapter ５　真空系统与计算
　　5.1　真空系统
　　5.2　真空系统管路气导的计算
　　5.3　管路气导的计算公式
　　5.4　薄壁上孔道的气导
　　5.5　管路中空气以外其他气体的气体
　　5.6　真空系统有效抽气速率
　　5.7　抽气速率损失
　　5.8　气体分子的平均自由动径
　　5.9　气体分子间平均碰冲率
　　5.10　单分子层附着时间

Chapter ６　测漏技术与清洁方法
　　6.1　真空系统的漏气
　　6.2　找漏与堵漏
　　6.3　真空系统的污染
　　6.4　清洁的方法
　　6.5　真空系统烘烤

Chapter ７　真空制程
　　7.1　常用的真空制程
　　7.2　高科技真空制程
　　7.3　镀膜技术简介