具体描述
半导体产业是蓬勃发展中的高科技产业。为因应积体电路元件的微小化及高速化趋势，现有制程技术须要持续改进，而创新的技术不断地被发展出来。虽然积体电路制程技术不断推陈出新，然而其基本原理及步骤却是相通的。因此本书着重于基本观念的理解，而不是个别技术的细节。本书讲述积体电路制造程序中所使用的各种技术，包括物理及化学气相沉积、微影、氧化、蚀刻、掺杂等制程的基本原理。本书中包含大量的图形及表格使读者得以对积体电路制程获得具体的了解，适合作为大学、技术学院相关课程的教材。
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