具體描述
這些年來光電、生物科技迅速掘起加速更新，半導體也推陳齣新挑戰極限，而這些改變則是需要嚴格的生産廠房及研發環境，但在目前市麵是並無以有係統介紹建立高科技廠房的專業案頭書，有鑑於此，作者將二十多年來在高科技産業的執行及顧問經驗，將所有的廠務係統作全麵有秩序的整理編寫。本書共分為十三大章，內容涵蓋瞭潔淨室和廠務之八大係統，除此之外有風險管理和建廠工程之規劃內容和執行原則介紹，本書的內容偏重實務之應用麵和執行麵。本書適閤科大電機係、能源與冷凍空調工程係「半導體廠務」、「半導體與光電廠務設施」課程使用。
本書特色
1.次世代半導體産業（8""、12""）和新世代光電産業（五代、六代、七代）建廠廠務和潔淨室係統之最新資料和科技技術。
2.經驗和實務及運轉之技術和專業精華，不侷限理論而著重實務。
3.涵蓋廠務之所有係統和建廠工程實務規劃，將所有係統濃縮於一冊，便於研讀參考。
本書特色
1.次世代半導體産業（8""、12""）和新世代光電産業（五代、六代、七代）建廠廠務和潔淨室係統之最新資料和科技技術。
2.經驗和實務及運轉之技術和專業精華，不侷限理論而著重實務。
3.涵蓋廠務之所有係統和建廠工程實務規劃，將所有係統濃縮於一冊，便於研讀參考。
著者信息
圖書目錄
第1章 潔淨室與空調
1-1 前 言
1-2 潔淨室定義與發展史
1-3 潔淨室標準與規格
1-4 潔淨室適用範圍
1-5 潔淨室分類
1-6 潔淨空氣流分析
1-7 不同障礙物對氣流之影響
1-8 潔淨室設計規劃
1-9 潔淨室震動、靜電、噪音、電磁乾擾之防製
1-10 潔淨室空調設計
1-11 潔淨室建造、組裝材及程序
1-12 潔淨室測試與驗收
1-13 潔淨室運轉與維護管理
1-14 潔淨室自動化係統
1-15 潔淨室建造成本分析
第2章 超純水處理
2-1 前 言
2-1-1 純水之功能
2-1-2 水中之汙染物
2-1-3 水中不純物之測定分析
2-2 超純水之製造
2-2-1 超純水之規範
2-2-2 純水製造類彆分析
2-2-3 純水製造用膜材質比較
2-3 高科技産業用超純水
2-3-1 高科技廠純水製造流程
2-3-2 各製程模組件功能分析
2-3-3 超純水管路設計
2-3-4 超純水運轉、故障排除與品質監控
第3章 中央式化學品供應係統
3-1 前 言
3-2 化學品供應需求要素
3-3 化學品供應種類
3-4 化學品供應係統之架構與作用原理
3-5 化學品配管與安全考量
3-6 結 論
第4章 中央式氣體供應係統
4-1 前 言
4-2 光電廠和半導體廠所使用之氣體
4-3 氣體的規範
4-4 中央式氣體供應架構
4-5 供氣係統的安全技術
4-6 氣體的供應輸送
4-7 氣體供應的規劃與設計
第5章 廢水處理及迴收
5-1 前 言
5-2 排放標準
5-3 廢水種類
5-4 廢水處理係統介紹
5-5 廢水處理之規劃設計運轉
第6章 電力供應與中央監控
6-1 前 言
6-2 電力供應係統組成
6-3 受電供電設備
6-4 建廠電力係統規劃
6-5 電力供應係統設備運轉管理
6-6 廠務中央監控係統
第7章 廠務設施架構
7-1 前 言
7-2 冰水及冷凝冷卻水
7-3 熱水、蒸氣與柴油、瓦斯供應係統
7-4 製程冷卻水
7-5 乾燥壓縮空氣／呼吸用空氣
7-6 製程真空和清潔用真空係統
第8章 環境保護與工業安全維護
8-1 前 言
8-2 環保與工安之功能目的
8-3 半導體與光電廠廢氣處理規劃
8-4 廢氣種類與排放標準
8-5 廢氣處理方式
8-6 廢棄物處理與減廢
8-7 有關環保相關申請文件及流程
8-8 工業安全與衛生維護
第9章 管路設計及空間佈置規劃
9-1 前 言
9-2 管路材質選用
9-3 氣體管路配管
9-4 管路標示
9-5 管路設計規劃
9-6 管路之空間佈置
第10章 建廠設計評估及施工監造管理
10-1 前 言
10-2 建廠工程規劃
10-3 建廠工程設計及施工執行流程
第11章 風險評估管理計劃
11-1 前 言
11-2 風險管理四要素
11-3 風險評估程序
11-4 損害防阻執行
11-5 災害復原計畫
第12章 高科技廠建廠及運轉成本分析
12-1 前 言
12-2 建廠時程
12-3 建廠成本分析
12-4 廠務係統用量分析
第13章 結 語
附錄 簡稱字匯
1-1 前 言
1-2 潔淨室定義與發展史
1-3 潔淨室標準與規格
1-4 潔淨室適用範圍
1-5 潔淨室分類
1-6 潔淨空氣流分析
1-7 不同障礙物對氣流之影響
1-8 潔淨室設計規劃
1-9 潔淨室震動、靜電、噪音、電磁乾擾之防製
1-10 潔淨室空調設計
1-11 潔淨室建造、組裝材及程序
1-12 潔淨室測試與驗收
1-13 潔淨室運轉與維護管理
1-14 潔淨室自動化係統
1-15 潔淨室建造成本分析
第2章 超純水處理
2-1 前 言
2-1-1 純水之功能
2-1-2 水中之汙染物
2-1-3 水中不純物之測定分析
2-2 超純水之製造
2-2-1 超純水之規範
2-2-2 純水製造類彆分析
2-2-3 純水製造用膜材質比較
2-3 高科技産業用超純水
2-3-1 高科技廠純水製造流程
2-3-2 各製程模組件功能分析
2-3-3 超純水管路設計
2-3-4 超純水運轉、故障排除與品質監控
第3章 中央式化學品供應係統
3-1 前 言
3-2 化學品供應需求要素
3-3 化學品供應種類
3-4 化學品供應係統之架構與作用原理
3-5 化學品配管與安全考量
3-6 結 論
第4章 中央式氣體供應係統
4-1 前 言
4-2 光電廠和半導體廠所使用之氣體
4-3 氣體的規範
4-4 中央式氣體供應架構
4-5 供氣係統的安全技術
4-6 氣體的供應輸送
4-7 氣體供應的規劃與設計
第5章 廢水處理及迴收
5-1 前 言
5-2 排放標準
5-3 廢水種類
5-4 廢水處理係統介紹
5-5 廢水處理之規劃設計運轉
第6章 電力供應與中央監控
6-1 前 言
6-2 電力供應係統組成
6-3 受電供電設備
6-4 建廠電力係統規劃
6-5 電力供應係統設備運轉管理
6-6 廠務中央監控係統
第7章 廠務設施架構
7-1 前 言
7-2 冰水及冷凝冷卻水
7-3 熱水、蒸氣與柴油、瓦斯供應係統
7-4 製程冷卻水
7-5 乾燥壓縮空氣／呼吸用空氣
7-6 製程真空和清潔用真空係統
第8章 環境保護與工業安全維護
8-1 前 言
8-2 環保與工安之功能目的
8-3 半導體與光電廠廢氣處理規劃
8-4 廢氣種類與排放標準
8-5 廢氣處理方式
8-6 廢棄物處理與減廢
8-7 有關環保相關申請文件及流程
8-8 工業安全與衛生維護
第9章 管路設計及空間佈置規劃
9-1 前 言
9-2 管路材質選用
9-3 氣體管路配管
9-4 管路標示
9-5 管路設計規劃
9-6 管路之空間佈置
第10章 建廠設計評估及施工監造管理
10-1 前 言
10-2 建廠工程規劃
10-3 建廠工程設計及施工執行流程
第11章 風險評估管理計劃
11-1 前 言
11-2 風險管理四要素
11-3 風險評估程序
11-4 損害防阻執行
11-5 災害復原計畫
第12章 高科技廠建廠及運轉成本分析
12-1 前 言
12-2 建廠時程
12-3 建廠成本分析
12-4 廠務係統用量分析
第13章 結 語
附錄 簡稱字匯
圖書序言
圖書試讀
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