具体描述
这些年来光电、生物科技迅速掘起加速更新，半导体也推陈出新挑战极限，而这些改变则是需要严格的生产厂房及研发环境，但在目前市面是并无以有系统介绍建立高科技厂房的专业案头书，有鑑于此，作者将二十多年来在高科技产业的执行及顾问经验，将所有的厂务系统作全面有秩序的整理编写。本书共分为十三大章，内容涵盖了洁净室和厂务之八大系统，除此之外有风险管理和建厂工程之规划内容和执行原则介绍，本书的内容偏重实务之应用面和执行面。本书适合科大电机系、能源与冷冻空调工程系「半导体厂务」、「半导体与光电厂务设施」课程使用。
本书特色
1.次世代半导体产业（8""、12""）和新世代光电产业（五代、六代、七代）建厂厂务和洁净室系统之最新资料和科技技术。
2.经验和实务及运转之技术和专业精华，不侷限理论而着重实务。
3.涵盖厂务之所有系统和建厂工程实务规划，将所有系统浓缩于一册，便于研读参考。
本书特色
1.次世代半导体产业（8""、12""）和新世代光电产业（五代、六代、七代）建厂厂务和洁净室系统之最新资料和科技技术。
2.经验和实务及运转之技术和专业精华，不侷限理论而着重实务。
3.涵盖厂务之所有系统和建厂工程实务规划，将所有系统浓缩于一册，便于研读参考。
著者信息
图书目录
第1章 洁净室与空调
1-1 前 言
1-2 洁净室定义与发展史
1-3 洁净室标准与规格
1-4 洁净室适用范围
1-5 洁净室分类
1-6 洁净空气流分析
1-7 不同障碍物对气流之影响
1-8 洁净室设计规划
1-9 洁净室震动、静电、噪音、电磁干扰之防制
1-10 洁净室空调设计
1-11 洁净室建造、组装材及程序
1-12 洁净室测试与验收
1-13 洁净室运转与维护管理
1-14 洁净室自动化系统
1-15 洁净室建造成本分析
第2章 超纯水处理
2-1 前 言
2-1-1 纯水之功能
2-1-2 水中之污染物
2-1-3 水中不纯物之测定分析
2-2 超纯水之制造
2-2-1 超纯水之规范
2-2-2 纯水制造类别分析
2-2-3 纯水制造用膜材质比较
2-3 高科技产业用超纯水
2-3-1 高科技厂纯水制造流程
2-3-2 各制程模组件功能分析
2-3-3 超纯水管路设计
2-3-4 超纯水运转、故障排除与品质监控
第3章 中央式化学品供应系统
3-1 前 言
3-2 化学品供应需求要素
3-3 化学品供应种类
3-4 化学品供应系统之架构与作用原理
3-5 化学品配管与安全考量
3-6 结 论
第4章 中央式气体供应系统
4-1 前 言
4-2 光电厂和半导体厂所使用之气体
4-3 气体的规范
4-4 中央式气体供应架构
4-5 供气系统的安全技术
4-6 气体的供应输送
4-7 气体供应的规划与设计
第5章 废水处理及回收
5-1 前 言
5-2 排放标准
5-3 废水种类
5-4 废水处理系统介绍
5-5 废水处理之规划设计运转
第6章 电力供应与中央监控
6-1 前 言
6-2 电力供应系统组成
6-3 受电供电设备
6-4 建厂电力系统规划
6-5 电力供应系统设备运转管理
6-6 厂务中央监控系统
第7章 厂务设施架构
7-1 前 言
7-2 冰水及冷凝冷却水
7-3 热水、蒸气与柴油、瓦斯供应系统
7-4 制程冷却水
7-5 干燥压缩空气／唿吸用空气
7-6 制程真空和清洁用真空系统
第8章 环境保护与工业安全维护
8-1 前 言
8-2 环保与工安之功能目的
8-3 半导体与光电厂废气处理规划
8-4 废气种类与排放标准
8-5 废气处理方式
8-6 废弃物处理与减废
8-7 有关环保相关申请文件及流程
8-8 工业安全与卫生维护
第9章 管路设计及空间佈置规划
9-1 前 言
9-2 管路材质选用
9-3 气体管路配管
9-4 管路标示
9-5 管路设计规划
9-6 管路之空间佈置
第10章 建厂设计评估及施工监造管理
10-1 前 言
10-2 建厂工程规划
10-3 建厂工程设计及施工执行流程
第11章 风险评估管理计划
11-1 前 言
11-2 风险管理四要素
11-3 风险评估程序
11-4 损害防阻执行
11-5 灾害复原计画
第12章 高科技厂建厂及运转成本分析
12-1 前 言
12-2 建厂时程
12-3 建厂成本分析
12-4 厂务系统用量分析
第13章 结 语
附录 简称字汇
1-1 前 言
1-2 洁净室定义与发展史
1-3 洁净室标准与规格
1-4 洁净室适用范围
1-5 洁净室分类
1-6 洁净空气流分析
1-7 不同障碍物对气流之影响
1-8 洁净室设计规划
1-9 洁净室震动、静电、噪音、电磁干扰之防制
1-10 洁净室空调设计
1-11 洁净室建造、组装材及程序
1-12 洁净室测试与验收
1-13 洁净室运转与维护管理
1-14 洁净室自动化系统
1-15 洁净室建造成本分析
第2章 超纯水处理
2-1 前 言
2-1-1 纯水之功能
2-1-2 水中之污染物
2-1-3 水中不纯物之测定分析
2-2 超纯水之制造
2-2-1 超纯水之规范
2-2-2 纯水制造类别分析
2-2-3 纯水制造用膜材质比较
2-3 高科技产业用超纯水
2-3-1 高科技厂纯水制造流程
2-3-2 各制程模组件功能分析
2-3-3 超纯水管路设计
2-3-4 超纯水运转、故障排除与品质监控
第3章 中央式化学品供应系统
3-1 前 言
3-2 化学品供应需求要素
3-3 化学品供应种类
3-4 化学品供应系统之架构与作用原理
3-5 化学品配管与安全考量
3-6 结 论
第4章 中央式气体供应系统
4-1 前 言
4-2 光电厂和半导体厂所使用之气体
4-3 气体的规范
4-4 中央式气体供应架构
4-5 供气系统的安全技术
4-6 气体的供应输送
4-7 气体供应的规划与设计
第5章 废水处理及回收
5-1 前 言
5-2 排放标准
5-3 废水种类
5-4 废水处理系统介绍
5-5 废水处理之规划设计运转
第6章 电力供应与中央监控
6-1 前 言
6-2 电力供应系统组成
6-3 受电供电设备
6-4 建厂电力系统规划
6-5 电力供应系统设备运转管理
6-6 厂务中央监控系统
第7章 厂务设施架构
7-1 前 言
7-2 冰水及冷凝冷却水
7-3 热水、蒸气与柴油、瓦斯供应系统
7-4 制程冷却水
7-5 干燥压缩空气／唿吸用空气
7-6 制程真空和清洁用真空系统
第8章 环境保护与工业安全维护
8-1 前 言
8-2 环保与工安之功能目的
8-3 半导体与光电厂废气处理规划
8-4 废气种类与排放标准
8-5 废气处理方式
8-6 废弃物处理与减废
8-7 有关环保相关申请文件及流程
8-8 工业安全与卫生维护
第9章 管路设计及空间佈置规划
9-1 前 言
9-2 管路材质选用
9-3 气体管路配管
9-4 管路标示
9-5 管路设计规划
9-6 管路之空间佈置
第10章 建厂设计评估及施工监造管理
10-1 前 言
10-2 建厂工程规划
10-3 建厂工程设计及施工执行流程
第11章 风险评估管理计划
11-1 前 言
11-2 风险管理四要素
11-3 风险评估程序
11-4 损害防阻执行
11-5 灾害复原计画
第12章 高科技厂建厂及运转成本分析
12-1 前 言
12-2 建厂时程
12-3 建厂成本分析
12-4 厂务系统用量分析
第13章 结 语
附录 简称字汇
图书序言
图书试读
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