微感測系統與應用

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劉會聰
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具体描述

  微系統是一門融合機、電、光、磁、生、化等多個交叉尖端學科的領域,具有微型化、集成化、智慧化、低成本、高性能、可批量化等優點,已經並將繼續在生物醫療、能源環境、汽車電子、消費電子、無線通訊、軍事國防、航空航天等領域產生深遠影響。
 
  本書以微系統中最具代表性的微感測系統為核心,結合當前的無線通訊以及物聯網技術、能源收集技術、柔性電子技術等新興尖端科技,對廣義微感測系統的相關技術進行了全面系統介紹,包括微系統加工技術、矽基微感測技術、非矽基微感測技術、自供電微感測與微能源技術。同時也介紹了微感測系統在智慧工業、智慧農業、生物醫療、軍事、航空航天等各個應用領域中所發揮的重要作用。
好的,这是一本关于超大规模集成电路(VLSI)设计与制造的专业书籍的详细简介,内容完全聚焦于该主题,与您提到的“微感测系统与应用”无关。 --- 书名:《超大规模集成电路设计、制造与新兴工艺》 书籍定位与目标读者: 本书是一部深度聚焦于现代半导体技术核心——超大规模集成电路(VLSI)——从概念设计到物理实现全流程的权威性著作。它不仅涵盖了传统CMOS电路设计与验证的基石,更深入探讨了面向未来高性能计算、低功耗边缘设备及先进封装技术所需的前沿知识体系。 本书的目标读者群涵盖了电子工程、微电子学、计算机工程专业的高年级本科生、研究生,以及在半导体行业(IC设计、工艺集成、设备制造、封装测试)工作的工程师和研究人员。对于希望系统性建立起对现代集成电路产业化流程有深刻理解的专业人士,本书提供了不可或缺的理论深度和工程实践指导。 核心内容模块解析: 本书内容组织遵循集成电路设计实现(EDA Flow)的逻辑顺序,划分为七大部分,共二十五章。 第一部分:半导体器件物理与基础模型(Foundation & Device Physics) 本部分为后续所有设计活动奠定物理基础。 第1章:MOSFET 器件物理与工作原理进阶: 详细分析了短沟道效应、载流子输运机制(漂移与扩散)、亚阈值区行为的精确建模。重点讨论了FinFET结构相对于平面CMOS在静电控制上的革命性优势,及其在纳米尺度下的载流子行为差异。 第2章:先进半导体材料与互连线技术: 探讨了高迁移率硅锗(SiGe)和III-V族材料在CMOS晶体管中的潜在应用,以及先进金属栅极(Metal Gate, MG)和高介电常数(High-k)栅介质的集成技术。同时,深入讲解了铜互连线技术中的电迁移(Electromigration, EM)问题及其对可靠性的影响。 第3章:工艺窗口与器件参数提取: 阐述了半导体制造过程(如光刻、刻蚀、薄膜沉积)对最终器件参数(如阈值电压Vt、跨导gm)的统计学影响,介绍了基于SPICE模型的器件参数提取流程和公差分析方法。 第二部分:数字集成电路设计(Digital IC Design Methodology) 这是本书的重点之一,详述了现代数字电路的架构、设计与优化。 第4章:静态时序分析(Static Timing Analysis, STA)的原理与实践: 不仅覆盖了建立时间(Setup Time)和保持时间(Hold Time)的基本概念,更深入剖析了时钟域交叉(CDC)、异步逻辑设计、以及在多电压/多频率设计中的时序约束设置和签核流程。 第5章:低功耗设计技术(Low Power Design): 聚焦于实际工程中的功耗削减策略。详细介绍了多电压域(Multi-Voltage Domains, MVD)、电源门控(Power Gating,含隔离单元Isolation Cell和级联缓冲器Level Shifter的正确使用)、时钟树综合(CTS)中的时钟门控(Clock Gating)技术的实现细节。 第6章:时钟树综合(Clock Tree Synthesis, CTS)与信号完整性: 探讨了如何构建具有最小偏斜(Skew)和最小峰度(Peak)的时钟网络。分析了导线寄生电容、电感对时钟信号质量的影响,并介绍了用于缓冲器放置和尺寸调整的算法。 第7章:可测试性设计(Design for Testability, DFT): 全面覆盖了DFT技术,包括扫描链(Scan Chain)的插入与优化、自动测试图形生成(ATPG)的原理,以及用于捕捉瞬时故障的内置自测试(Built-In Self-Test, BIST)架构(如存储器BIST和逻辑BIST)。 第三部分:模拟与混合信号集成电路(Analog and Mixed-Signal IC) 本部分关注对精度、噪声和带宽敏感的电路设计。 第8章:运算放大器(Op-Amp)的设计与优化: 涵盖了折叠式、共源共栅式等拓扑结构的频率补偿、相位裕度(PM)和增益带宽积(GBW)的计算,以及失调电压(Offset Voltage)的抑制技术。 第9章:数据转换器(ADC/DAC)架构: 深入解析了流水线(Pipeline)、Sigma-Delta(ΣΔ)和逐次逼近寄存器(SAR)型模数转换器的设计权衡。重点讨论了量化噪声塑形(Noise Shaping)和电路匹配对最终分辨率(ENOB)的限制。 第10章:噪声分析与屏蔽技术: 讲解了热噪声、闪烁噪声(1/f Noise)的来源和建模,以及在CMOS工艺中实现低噪声放大器(LNA)的关键布局技巧(如星形接地、Guard Ring的应用)。 第四部分:物理设计与版图实现(Physical Design and Layout) 将逻辑网表转化为可制造的物理版图。 第11章:布局规划(Floorplanning)与电源网络设计: 详细介绍了模块级和系统级的布局规划策略,包括I/O规划、电源轨(Power Rail)和地轨(Ground Rail)的宽度计算,以及电迁移约束下的电源分配网络(PDN)设计。 第12章:标准单元布局与布线优化: 探讨了拥塞度分析、门级布局(Gate Placement)的优化目标(如最小线长、最小时序违例),以及多层金属布线中的最小间距规则(DRC)和抗天线效应(Antenna Effect)的实施。 第13章:版图寄生参数提取与后仿真: 介绍了从版图中提取的寄生电阻(R)和电容(C)的工具和方法,以及RC延迟对时序签核的最终影响。 第五部分:先进制造工艺与良率(Advanced Fabrication and Yield) 本书紧密结合当前半导体的制造前沿。 第14章:极紫外光刻(EUV Lithography)技术: 深入分析了EUV技术在解决亚10nm节点工艺挑战中的核心作用,包括掩模版的缺陷控制和光刻胶(Photoresist)的性能要求。 第15章:先进封装与异构集成(Advanced Packaging): 探讨了芯片堆叠技术(3D IC)、硅中介层(Silicon Interposer)、以及扇出型晶圆级封装(Fan-Out Wafer-Level Packaging, FOWLP)如何突破传统摩尔定律的限制,实现系统级性能提升。 第六部分:可靠性与设计验证(Reliability and Verification) 确保芯片在长期工作中的稳定性和设计的正确性。 第16章:工艺、电压与温度(PVT)变化下的设计鲁棒性: 讨论了工艺角(Corners)分析的重要性,以及如何通过宽裕的边际设计来应对制造波动。 第17章:电迁移与自热效应(Self-Heating Effect): 详细分析了在现代高密度互连中,电流密度过大导致的金属线寿命缩短问题,以及集成电路的散热设计对芯片性能稳定性的影响。 第18章:形式化验证与等价性检查: 介绍如何使用数学方法验证设计,而非完全依赖随机仿真的覆盖率。 第七部分:新兴计算架构中的VLSI实现(VLSI for Emerging Architectures) 本书关注VLSI技术在特定领域的新应用。 第19章:面向AI加速器的VLSI架构: 分析了卷积神经网络(CNN)加速器中的脉动阵列(Systolic Array)的结构设计,以及如何优化片上存储器和数据流以最大化吞吐量和能效比。 第20章:高能效的内存技术接口设计: 探讨了HBM(High Bandwidth Memory)和LPDDR等高速接口的物理层设计挑战、阻抗匹配和均衡技术。 全书特色: 本书最大的特色在于其“深度集成”的视角。它不是割裂地介绍设计和工艺,而是贯穿始终地强调设计与制造的相互影响(Design-Technology Co-Optimization, DTCO)。书中大量穿插了源自前沿晶圆代工厂的实际设计规则(Design Rule)案例和最新的EDA工具流程实例,确保理论与工业实践的紧密结合。丰富的图表、公式推导和工程案例,使读者能够扎实掌握从晶体管特性到系统级性能优化的完整知识链条。

著者信息

图书目录

第1章微感測系統概述
1.1微系統概述
1.1.1微系統的概念
1.1.2微系統的基本特點
1.2微感測系統的概念
1.2.1微感測器
1.2.2集成微感測器
1.2.3微感測器系統
1.2.4微感測系統的主要特點
1.3微感測系統的基本特性
1.3.1微感測器的靜態特性
1.3.2微感測器的動態特性
1.3.3微感測器的分類
1.4微感測系統的常用材料
1.4.1單晶矽與多晶矽
1.4.2氧化矽和氮化矽
1.4.3半導體敏感材料
1.4.4陶瓷敏感材料
1.4.5高分子敏感材料
1.4.6機敏材料
1.4.7奈米材料
1.5微感測系統的產業現狀與發展趨勢
1.5.1產業現狀
1.5.2發展趨勢
參考文獻
 
第2章微系統製造技術
2.1微製造概述
2.2矽基MEMS 加工技術
2.2.1體微機械加工技術
2.2.2表面微機械加工技術
2.2.3小結
2.3聚合物MEMS 加工技術
2.3.1SU-8
2.3.2聚酰亞胺(PI) 
2.3.3Parylene C
2.4特種微加工技術
2.4.1電火花微加工技術
2.4.2雷射束微加工技術
2.4.3電化學微加工技術
2.5封裝與集成技術
2.5.1引線鍵合技術
2.5.2倒裝芯片技術
2.5.3多芯片封裝技術
2.5.43D 封裝技術
參考文獻
 
第3章矽基微感測技術與應用
3.1矽基壓阻式感測器
3.1.1矽基壓阻式感測器原理
3.1.2典型的矽基壓阻式感測器
3.2矽基電容式感測器
3.2.1電容式感測器原理
3.2.2典型的矽基電容式感測器
3.3矽基壓電式感測器
3.3.1壓電式感測器原理
3.3.2MEMS 壓電觸覺感測器
3.3.3MEMS 電流感測器
3.3.4MEMS 聲學感測器
3.3.5MEMS 力磁感測器
3.3.6MEMS 病毒檢測感測器
參考文獻
 
第4章非矽基柔性感測技術
4.1柔性感測器的特點和常用材料
4.1.1柔性感測器的特點
4.1.2柔性基底材料
4.1.3金屬導電材料
4.1.4碳基奈米材料
4.1.5奈米功能材料
4.1.6導電聚合物材料
4.2非矽基柔性觸覺感測器
4.2.1柔性觸覺感測原理
4.2.2柔性觸覺感測器發展趨勢
4.3生理訊號感測技術
4.3.1柔性溫度感測
4.3.2柔性心率感測
4.3.3柔性血壓感測
4.3.4生物感測器
4.3.5關鍵技術挑戰
4.4非矽基柔性感測技術應用舉例
參考文獻
 
第5章自供能微感測系統
5.1自供能微感測系統與能量收集技術
5.1.1自供能微感測系統概述
5.1.2能量收集技術
5.2振動能量收集技術
5.2.1壓電式振動能量收集技術
5.2.2電磁式振動能量收集技術
5.2.3靜電式振動能量收集技術
5.2.4摩擦電式振動能量收集技術
5.3風能收集技術 
5.3.1旋轉式風能收集技術
5.3.2顫振式風能收集技術
5.3.3渦激振動式風能收集技術
5.3.4共振腔式風能收集技術
5.4自供電微感測系統應用舉例
參考文獻
 
第6章新興微感測系統應用展望
6.1新興功能材料在微納感測系統的應用展望
6.1.1金屬功能材料
6.1.2非金屬功能材料
6.1.3有機高分子材料
6.1.4量子點
6.2新興微感測系統在智慧工農業領域的應用
6.2.1新興微感測系統在智慧工業物聯網領域的應用
6.2.2新興微感測系統在智慧農業領域的應用
6.3新興微感測系統在生物醫療領域的應用展望
6.3.1可穿戴醫療設備
6.3.2植入式醫療設備
參考文獻

图书序言

  • ISBN:9786263321670
  • 規格:平裝 / 232頁 / 17 x 23 x 1.16 cm / 普通級 / 單色印刷 / 初版
  • 出版地:台灣

图书试读

 
  微系統是一門融合機、電、光、磁、生、化等多個交叉尖端學科的領域,具有微型化、集成化、智慧化、低成本、高性能、可批量化等優點,已經並將繼續在生物醫療、能源環境、汽車電子、消費電子、無線通訊、軍事國防、航空航天等領域產生深遠影響。
 
  本書以微系統中最具代表性的微感測系統為核心,結合當前的無線通訊以及物聯網技術、能源收集技術、柔性電子技術等新興尖端科技,對廣義微感測系統的相關技術進行了全面系統介紹,包括微系統加工技術、矽基微感測技術、非矽基微感測技術、自供電微感測與微能源技術。同時也介紹了微感測系統在智慧工業、智慧農業、生物醫療、軍事、航空航天等各個應用領域中所發揮的重要作用。本書以微感測系統的主要技術為主,結合代表性應用案例進行編寫,共分為6章。第1章微感測系統概述。主要介紹微感測系統的基本概念、靜態動態特性、分類、材料特性以及發展趨勢。
第2章微系統製造技術。主要介紹典型的矽基、非矽基的MEMS製造工藝,以及特種微加工方法、封裝與集成。
 
  第3章矽基微感測技術與應用。主要介紹常用的矽基壓阻式、電容式、壓電式微感測系統設計、製造方法及典型案例。
 
  第4章非矽基柔性感測技術。主要介紹非矽基柔性感測器的主要特點和常見材料,介紹了典型柔性觸覺感測器的基本原理和發展趨勢,生物訊號的感知測量原理及關鍵技術問題,並闡述了非矽基柔性感測器在機器人、醫療健康和虛擬現實領域的應用。
第5章自供能微感測系統。主要介紹了自供能微感測系統的概念以及關鍵技術,主要包括壓電式、電磁式、靜電式、摩擦電式振動能量收集技術和風能收集技術,最後闡述自供能微感測系統在諸多領域的潛在應用。
 
  第6章新興微感測系統應用展望。主要介紹新型功能材料在微感測系統中的應用,以及新興微感測系統在智慧工業、農業和軍事航空航天領域的諸多應用前景。
 
  本書第1章、第6章由劉會聰、馮躍、孫立寧教授共同編寫;第2章、第3章由馮躍編寫;第4章、第5章由劉會聰編寫。在此要衷心感謝為本書插圖和資料整理做了大量工作的研究生,他們是蘇州大學的夏月冬、黄曼娟、耿江軍、房豔、韓玉傑、袁鑫;北京理工大學的韓炎暉、唐緒松、鐘科航、周子隆。本書在編寫過程中參閱了海內外同行的研究成果,在此向原著者謹致謝意!
 
  由於作者水準、知識背景、研究方向限制,書中不足之處,懇請各位讀者、專家不吝指。

用户评价

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說實話,我對學術性的書籍通常會抱持著一份敬畏,但同時也會有點擔心它是否過於「學院派」。對於非理工背景,但負責採購或專案管理的朋友來說,他們需要的可能是一種能夠快速建立整體架構概念的入門橋樑。我希望這本《微感測系統與應用》在介紹完底層的感測原理後,能夠更著重於如何從「使用者的需求」出發,反推回來選擇最適合的感測器組合與系統架構。例如,如果目標是要建立一個高精度的環境監測站,應該在哪幾個參數上投入更多的預算與資源?如果考量到成本效益,哪些次要的數據可以被犧牲或簡化?這種從商業與使用者角度出發的決策分析,往往是教科書比較缺乏的。如果這本書能提供一些實際的規格比較表,以及不同應用場景下的最佳實踐範例,那它就成功地從一本技術手冊,昇華為一份實用的商業決策輔助工具了。

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閱讀一本技術書,我最在乎的是它的「前瞻性」。微感測技術發展速度非常快,前兩年還是主流的技術,現在可能已經被新的 MEMS 或奈米材料取代。所以,我希望《微感測系統與應用》在探討傳統技術的基礎之上,能適度地引進一些最新的研究方向,例如量子點感測器、或是基於AI的邊緣運算在感測數據處理中的應用。如果書中能用圖表清晰地描繪出未來的技術趨勢,甚至指出目前產業鏈中主要的技術瓶頸在哪裡,那對於想在新領域創業或做深度研究的讀者來說,簡直是無價之寶。我不希望讀到的是五年前的技術百科,而是能引導我思考未來五年產業走向的指南。畢竟,在這個快速迭代的時代,掌握「下一波」是什麼,比精通「現在」的技術更重要。

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哇,看到這本書的名字《微感測系統與應用》,就讓我想起以前大學時期修那門課的時光,雖然這本書可能講的跟我的課本不太一樣,但光是標題就讓人聯想到那些複雜的電路圖、各種感測器的原理,還有程式碼寫到半夜的畫面。我猜這本書內容肯定會很紮實,對於想深入了解物聯網(IoT)基礎技術的人來說,應該是本不錯的參考書。畢竟現在大家都在談智慧家庭、智慧城市,背後最核心的就是這些微感測技術,從溫濕度、光線、壓力到各種氣體感測,如何把它們串起來,讓數據可以被有效利用,這本書如果能把這些實作的細節講清楚,那就太棒了。特別是「應用」這兩個字,讓人期待它不只是純理論的堆砌,而是能結合實際案例,像是農業上的土壤濕度監測,或是工業上的設備預警系統,光是想像那個畫面,就覺得這本書的實用性應該很高。希望它對那些剛接觸電子工程或資訊科技的年輕學子來說,是一扇通往實務世界的大門,而不是只停留在紙上談兵的階段。

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這本書的書名簡潔有力,但背後蘊含的技術深度不容小覷。以我過去接觸電子產品開發的經驗來看,微感測器模組的選型和資料擷取階段,往往是專案成敗的關鍵點。我特別好奇,作者在討論「系統」建構時,是偏向硬體層面的PCB設計考量,還是更著重於軟體層面的韌體開發與資料流管理?如果它能兼顧到兩者,甚至提供一些低功耗設計的策略,那絕對是現階段非常需要的內容。畢竟,現在的裝置越來越多需要電池供電,如何用最少的電力去維持感測器的穩定運作,同時又不犧牲數據採集的精度,這門學問非常精深。另外,針對台灣常見的氣候條件,例如高濕度對某些光學或電化學感測器的影響,如果書中能提出相應的對策或補償演算法,那這本書的在地化價值就非常高了。總之,我期待它能提供的是一套完整的設計思維,而不僅僅是零散的技術點子彙編。

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老實說,我對這類技術書籍的評價標準很嚴格,因為市面上這方面的書實在太多了,很多都只是把一堆規格書的東西拼湊起來,讀起來非常枯燥乏味。我個人比較欣賞那些能用比較生活化、甚至是帶點幽默感的筆觸,來解釋複雜技術概念的作者。如果《微感測系統與應用》能做到這一點,那就太加分了。我希望它在介紹各種感測器的線性度、雜訊抑制這些硬核知識時,不會讓人讀到睡著。更重要的是,我很想知道它在系統整合的部分處理得如何。畢竟,感測器本身很好選,但怎麼讓這些來自不同廠牌、不同協定的小東西,乖乖地整合到一個穩定運行的系統裡,那才是真正的挑戰。如果書中能提供一些「踩過哪些坑」的經驗分享,或者是一些常見的除錯技巧,那對我這種已經在業界打滾幾年的人來說,價值馬上就翻倍了。畢竟,理論誰都會,但實戰的眉角才是真本事。

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