表面與薄膜處理技術(第四版) 

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柯賢文 
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具体描述

  固體材料的表面問題既已發展成一非常多樣化的科技,很多出版的參考書籍以專題深入探討或以工具書出現,不易為初學者所接受,也不適宜當教材之用。因此作者就重要的問題分成十二章討論。這十二章的結構實際上可以看成五個部份,第一部份為基礎篇,這些都是乾式氣相表面處理最常面臨的技術。第二部份為氣相技術篇,乃常見的乾式氣相表面處理技術。第三部份為液相技術篇,亦即最傳統的表面處理技術,包括無極鍍、化成、取代及電鍍和電鑄,陽極處理實際上相等於電化學反應的化成作用。第四部份為薄膜篇,包括薄膜的成長及微結構、薄膜的特性及量測。第五部份為前瞻篇,它們已脫離常見表面技術的章節,其中有微機電系統、奈米技術及表面的物理化學性質。本書適合大學、科大、技術學院機械工程、電機、電子材料、化學工程科系『薄膜技術』課程使用。 
 
本書特色
 
  1.固體材料的表面問題已發展成一非常多樣化的科技,本書內容以深入淺出的方式表達,使其成為最適宜的教材。
  2.作者就重要問題分成十二章討論,共分為五大部分為;基礎篇、氣相技術篇、液相技術篇、薄膜篇與前瞻篇,內容精選,整理完善。
  3.適合大學、科大、技術學院機械工程、電機、電子材料、化學工程科系『薄膜技術』課程使用。 
创新材料的基石:现代表面与界面科学探索 本书简介 本书深入探讨了当前材料科学领域至关重要的一个分支——表面与界面科学及其在工程应用中的最新进展。作为一部面向高年级本科生、研究生以及材料、化学、物理和工程领域专业技术人员的参考著作,《创新材料的基石:现代表面与界面科学探索》旨在全面梳理从基础理论到前沿技术的广阔图景,强调理解和调控物质在原子和分子尺度上行为的重要性。 本书内容紧密围绕“如何利用表面的特殊属性来赋予材料新的功能,并解决工业界面临的挑战”这一核心主题展开。我们摒弃了对单一、特定处理技术的冗长描述,转而聚焦于跨学科的原理和方法论,为读者建立一个坚实且灵活的知识框架,使其能够适应快速迭代的技术环境。 第一部分:基础理论的重构——从宏观到量子 本部分旨在为读者打下坚实的理论基础,重点阐述表面现象的本质。我们从热力学和统计力学的角度出发,详细解析了表面能、表面张力和界面润湿性的定量描述,并引入了吉布斯吸附等温线等关键热力学工具。 随后,本书深入到量子力学层面,探讨了固体表面电子结构。内容涵盖能带理论在表面的重构、表面态的形成,以及如何利用密度泛函理论(DFT)进行计算模拟以预测表面活性位点。我们详细讨论了晶体生长动力学中驱动力的来源,包括原子扩散、台阶流动和成核机制,这些是理解薄膜沉积过程的基石。 此外,本卷对界面化学进行了详尽的阐述,特别是涉及电化学界面。内容包括双电层结构、电荷转移过程以及在腐蚀、电催化等领域的应用,强调了溶剂化效应和离子弛豫对界面性质的调控作用。 第二部分:先进表征技术的集成与应用 本部分完全侧重于获取、解析和解释表面与界面信息的方法学。我们没有罗列市面上所有仪器的操作手册,而是聚焦于不同技术背后的物理原理、数据处理的难点和对材料信息的互补性。 结构表征: 深入讨论了高分辨透射电子显微镜(HRTEM)在异质结界面缺陷分析中的应用,以及扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)在亚纳米尺度形貌和局部电学性能成像中的独特优势。着重分析了慢电子衍射(LEED)如何确定表面晶格重构。 成分与化学态分析: 详细对比了X射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)在确定元素价态和化学环境方面的差异与协同作用。特别关注了二次离子质谱(SIMS)在深度剖析和痕量分析中的定量化挑战。 动态过程监测: 引入了原位/非原位光谱技术,例如表面等离子体共振(SPR)在生物传感中的应用,以及时间分辨光电子能谱(TRPES)在追踪超快表面电子转移过程中的前沿应用。 第三部分:功能化界面的设计与智能调控 这是本书最具前瞻性的部分,着重于如何根据特定的功能需求,设计和构建具有特定界面的智能材料系统。我们探讨了超越传统薄膜沉积的创新策略。 自组装与超分子结构: 详细阐述了单分子层(SAMs)的形成机理、层级结构控制以及其在构建分子电子器件和防污涂层中的应用。重点分析了范德华力、氢键等弱相互作用在指导复杂三维结构形成中的作用。 纳米结构界面的构建: 聚焦于核壳结构、多孔材料和拓扑绝缘体的界面工程。讨论了如何通过刻蚀、模板辅助生长和气相沉积精确控制纳米颗粒/基底之间的相互作用,以优化催化活性或增强光电转换效率。 智能响应性界面: 探讨了引入外部刺激(如光、电、温度、应力)以实时调控界面性质的前沿技术。例如,电活性聚合物界面在柔性电子中的应用,以及相变材料在信息存储中的潜力。内容涵盖了忆阻器原理中氧化物界面导电桥的动态形成与断裂机制。 环境友好型界面解决方案: 针对可持续发展需求,本卷专门辟出章节讨论绿色溶剂沉积技术(如溶液法)在低成本、大规模制备高性能光伏电池和储能器件中的优势与局限性。 第四部分:界面工程在关键技术领域的突破 本部分将理论和方法论应用于实际的工程挑战中,展示了界面科学如何驱动下一代技术的实现。 高性能摩擦学界面: 深入分析了润滑剂分子在金属表面如何形成转移膜,以及该膜的微观结构如何决定摩擦系数和磨损率。讨论了类金刚石碳(DLC)涂层在改善极端工况下的耐磨性能中的界面设计策略。 生物-材料界面: 重点关注生物相容性、血液相容性和细胞粘附的调控。详细分析了蛋白质吸附动力学、生物膜的形成机制,以及如何通过表面亲疏水性梯度来引导细胞生长或抑制微生物附着。 能源转换界面: 探讨了电极/电解质界面在锂离子电池和燃料电池中的关键作用,如固态电解质界面(SEI)的形成与稳定性对电池循环寿命的影响。在光伏领域,侧重于钙钛矿太阳能电池中载流子提取层与吸收层界面的缺陷钝化策略。 本书特点 本书的撰写风格严谨且注重逻辑推导,力求在深度和广度之间取得平衡。我们强调物理化学原理对实际工程结果的决定性影响,避免了对单一商业化工艺的偏颇介绍。通过大量的案例分析和跨学科的知识整合,本书旨在培养读者运用多尺度、多物理场视角解决复杂界面问题的能力,是面向未来先进材料研发人员不可或缺的智库。

著者信息

图书目录

第1章 緒 論
一、表面處理的意義
二、表面處理的應用 
三、表面處理的分類 
四、技術選用考量因素
五、結 語 
 
第2章 基本設備
一、溫度的量測 
二、真空系統 
 
第3章 認識電漿
一、電漿的產生 
二、電漿的特性 
三、電漿的化學反應 
四、電漿在表面技術上的應用 
 
第4章 物理蒸鍍
一、熱力學 
二、氣體動力學 
三、蒸 鍍 
四、蒸鍍設備 
五、合金蒸鍍
六、化合物蒸鍍 
七、應 用 
 
第5章 濺射鍍膜
一、前 言 
二、粒子的撞擊 
三、動能的轉移 
四、撞擊效應 
五、濺射的方法 
六、濺射係數 
七、濺射鍍膜技術 
八、靶 材 
九、濺鍍和熱蒸鍍的比較 
十、應 用 
 
第6章 化學氣相蒸鍍
一、前 言 
二、化學問題 
三、熱力學的問題 
四、化學動力學的問題 
五、CVD設備及系統 
六、應 用 
 
第7章 液相表面處理
一、前 言 
二、前處理 
三、無極電鍍 
四、取代反應 
五、化成被覆 
六、電 鍍 
七、陽極處理 
八、電 鑄 
九、廢水處理 
 
第8章 薄膜的成長及微結構
一、前 言 
二、表面前清理 
三、薄膜的成長 
四、微結構 
五、磊 晶 
 
第9章 薄膜特性及量測
一、前 言 
二、厚 度 
三、薄膜特性 
四、表面分析儀器 
五、其他表面分析儀器 
 
第10章 表面蝕刻及微機電系統
一、圖樣化及蝕刻 
二、微機電系統 
三、矽製程 
 
第11章 奈米技術
一、奈米材料 
二、奈米科技發展史 
三、奈米合成和表面技術 
四、奈米材料之特徵
五、奈米材料之應用 
六、結 語 
 
第12章 表面的物理化學性質
一、前 言 
二、表面張力 
三、電 濕 
四、L-B薄膜 
 

图书序言

  • ISBN:9789865039691
  • 叢書系列:大專機械
  • 規格:平裝 / 464頁 / 17.8 x 15.9 x 2.32 cm / 普通級 / 單色印刷 / 第四版
  • 出版地:台灣

图书试读

用户评价

评分

我之前為了處理一個關於光學鍍膜的難題,翻遍了手邊好幾本進口的規格書,結果都是大同小異,講來談去就是那幾套標準流程。直到我把這本《表面與薄膜處理技術(第四版)》拿出來仔細研究,才發現自己陷入了「知識的盲區」。這本書的最後幾章,關於「薄膜的電氣特性與光學特性分析」的章節,簡直是我的及時雨。它不僅介紹了Ellipsometry(橢偏儀)的基本原理,還詳細說明了如何根據不同膜層組合(如介電層、導電層)來校準儀器並解析結果數據中的物理參數,這部分內容的細緻程度,遠超過我預期的範圍。最讓人感到貼心的是,它還穿插了一些「除錯指引」(Troubleshooting Guide),例如當鍍膜出現霧面(Hazing)或膜層剝落(Delamination)時,可以從哪幾個製程參數(如真空度、基材清洗、離子轟擊能量)依序檢查。這種從理論到實務、再到問題解決的完整路徑規劃,讓這本書的實用價值得到了極大的提升。它不僅是知識的傳遞者,更是現場問題的解決方案顧問,非常適合我們台灣這種高度依賴製程優化來獲取競爭力的產業環境。

评分

從一個資深製程工程師的角度來看,這本工具書的「實用性」幾乎是無可挑剔的。它最厲害的地方在於,它把那些原本散落在不同期刊、不同研討會中的零碎知識,系統性地整合在一個架構下。舉例來說,關於「表面粗糙度對薄膜附著力的影響」這一塊,舊版可能只是簡單帶過,但第四版竟然深入探討了不同類型的表面粗糙度(如隨機型、週期性)如何經由不同的沉積機制(如島狀生長、均勻生長)來產生不同的界面特性,甚至還提到了最新的奈米結構化表面設計如何主動增強黏著力。這種深度,絕對不是入門級書籍能比擬的。此外,它在安全規範和環境友善製程這一塊的篇幅也明顯增加,這對我們在進行ISO認證或工安體檢時,提供了非常標準化的參考依據,避免踩到法規紅線。總結來說,這本書成功地在「學術的嚴謹性」和「產業的實戰性」之間找到了完美的平衡點,是那種你會擺在辦公桌上,而不是塞在書櫃深處的參考書。

评分

哇,拿到這本《表面與薄膜處理技術(第四版)》的實體書時,我真的是又驚喜又期待!畢竟現在市面上的技術手冊常常都是翻譯腔很重,或是內容過於理論化,讀起來會讓人昏昏欲睡。不過這本,從它的裝幀設計就能感受到台灣在地化的用心。首先,書的開本大小很適中,拿在手上有份量感,但又不會太笨重,方便帶去工廠或實驗室隨時翻閱。內頁的紙質選用得很好,印刷的對比度夠高,讓那些複雜的製程圖和SEM/TEM照片看起來特別清晰立體,這對我們在現場判讀瑕疵或確認膜層結構時,簡直是救命稻草。而且,我特別注意到,這次的第四版在章節編排上做了很大的優化,邏輯線條比舊版更順暢了。像是第一部分對基礎材料科學的介紹,就用了非常生活化且貼近台灣產業鏈的例子來闡述,不像以前那種硬梆梆的教科書語法。整體給人的感覺就是,這不只是一本工具書,更像是一位經驗豐富的資深工程師坐在你旁邊,手把手帶你理解每一個製程眉角。對於剛踏入半導體、光電、精密機械等領域的新鮮人來說,光是這本書的基礎概念建立能力,就值回票價了。

评分

說真的,學術書籍如果文字敘述太過冗長或陳舊,讀起來的負擔會很重,尤其對於需要快速吸收新知的年輕工程師來說。這本《表面與薄膜處理技術》的「排版與視覺化」做得極好,這點必須大肆讚揚一番。他們顯然是請了非常專業的編輯團隊來處理技術圖表的呈現。許多關鍵的熱力學圖、相圖、蝕刻速率曲線,都用顏色和線條做了精準的區分,重點資訊一目瞭然,閱讀流暢度極高。我尤其喜歡它在解釋複雜的電化學沉積(Electroplating)原理時,搭配了清晰的電位-電流曲線圖,甚至還配上了簡單的動畫模擬圖的文字描述,這讓原本抽象的電子轉移過程變得具象化了。這也反映出編者對於現代讀者閱讀習慣的深刻理解,知道我們現在不再只滿足於純文字的描述。如果你是那種「看圖比看字更有感覺」的學習者,這本書的視覺設計會讓你愛不釋手,它讓你感覺在閱讀一本現代化的專業雜誌,而不是一本厚重的技術手冊。

评分

這本書最讓我眼睛一亮的地方,是它對「新興應用」的捕捉速度。你知道的,表面處理技術日新月異,新的材料和新的製程動態很快,很多舊版教材根本跟不上。這一版顯然是花了大力氣去更新了最新的技術趨勢。我特別去翻了關於ALD(原子層沉積)和PVD(物理氣相沉積)的章節,裡頭詳細介紹了高深寬比結構的均勻性控制難題,以及如何透過製程參數微調來優化薄膜應力,這些都是現在業界前沿正在燒腦的問題。更難得的是,書中沒有只停留在理論層面,而是非常務實地列舉了幾種常見的解決方案和他們各自的優缺點,甚至還附帶了幾則「案例分析」的虛擬情境,讓讀者可以對照自己的實際生產線狀況去思考。這種教學方式,非常符合台灣製造業「實戰導向」的文化。不像某些外文書,光是介紹理論就要花掉一半篇幅,最後才輕輕帶過應用。這本的結構就是先告訴你問題在哪,再深入解析背後的物理化學原理,最後給出可行的工程對策,完整閉環,讀完後馬上就有想動手試試看的衝動。

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