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圖書目錄
第1章 緒 論
一、錶麵處理的意義
二、錶麵處理的應用
三、錶麵處理的分類
四、技術選用考量因素
五、結 語
第2章 基本設備
一、溫度的量測
二、真空係統
第3章 認識電漿
一、電漿的産生
二、電漿的特性
三、電漿的化學反應
四、電漿在錶麵技術上的應用
第4章 物理蒸鍍
一、熱力學
二、氣體動力學
三、蒸 鍍
四、蒸鍍設備
五、閤金蒸鍍
六、化閤物蒸鍍
七、應 用
第5章 濺射鍍膜
一、前 言
二、粒子的撞擊
三、動能的轉移
四、撞擊效應
五、濺射的方法
六、濺射係數
七、濺射鍍膜技術
八、靶 材
九、濺鍍和熱蒸鍍的比較
十、應 用
第6章 化學氣相蒸鍍
一、前 言
二、化學問題
三、熱力學的問題
四、化學動力學的問題
五、CVD設備及係統
六、應 用
第7章 液相錶麵處理
一、前 言
二、前處理
三、無極電鍍
四、取代反應
五、化成被覆
六、電 鍍
七、陽極處理
八、電 鑄
九、廢水處理
第8章 薄膜的成長及微結構
一、前 言
二、錶麵前清理
三、薄膜的成長
四、微結構
五、磊 晶
第9章 薄膜特性及量測
一、前 言
二、厚 度
三、薄膜特性
四、錶麵分析儀器
五、其他錶麵分析儀器
第10章 錶麵蝕刻及微機電係統
一、圖樣化及蝕刻
二、微機電係統
三、矽製程
第11章 奈米技術
一、奈米材料
二、奈米科技發展史
三、奈米閤成和錶麵技術
四、奈米材料之特徵
五、奈米材料之應用
六、結 語
第12章 錶麵的物理化學性質
一、前 言
二、錶麵張力
三、電 濕
四、L-B薄膜
圖書序言
圖書試讀
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