錶麵與薄膜處理技術(第三版) pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024

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錶麵與薄膜處理技術(第三版)

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出版者 齣版社:全華圖書 訂閱齣版社新書快訊 新功能介紹
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出版日期 齣版日期:2012/07/16
語言 語言:繁體中文



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發表於2024-12-18

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圖書描述

固體材料的錶麵問題既已發展成一非常多樣化的科技,很多齣版的參考書籍以專題深入探討或以工具書齣現,不易為初學者所接受,也不適宜當教材之用。因此作者就重要的問題分成十二章討論。這十二章的結構實際上可以看成五個部份,第一部份為基礎篇,這些都是乾式氣相錶麵處理最常麵臨的技術。第二部份為氣相技術篇,乃常見的乾式氣相錶麵處理技術。第三部份為液相技術篇,亦即最傳統的錶麵處理技術,包括無極鍍、化成、取代及電鍍和電鑄,陽極處理實際上相等於電化學反應的化成作用。第四部份為薄膜篇,包括薄膜的成長及微結構、薄膜的特性及量測。第五部份為前瞻篇,它們已脫離常見錶麵技術的章節,其中有微機電係統、奈米技術及錶麵的物理化學性質。本書適閤大學、科大、技術學院機械工程、電機、電子材料、化學工程科係『薄膜技術』課程使用。

著者信息

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圖書目錄

第1章 緒 論
一、錶麵處理的意義
二、錶麵處理的應用
三、錶麵處理的分類
四、技術選用考量因素
五、結 語

第2章 基本設備
一、溫度的量測
二、真空係統

第3章 認識電漿
一、電漿的産生
二、電漿的特性
三、電漿的化學反應
四、電漿在錶麵技術上的應用

第4章 物理蒸鍍
一、熱力學
二、氣體動力學
三、蒸 鍍
四、蒸鍍設備
五、閤金蒸鍍
六、化閤物蒸鍍
七、應 用

第5章 濺射鍍膜
一、前 言
二、粒子的撞擊
三、動能的轉移
四、撞擊效應
五、濺射的方法
六、濺射係數
七、濺射鍍膜技術
八、靶 材
九、濺鍍和熱蒸鍍的比較
十、應 用

第6章 化學氣相蒸鍍
一、前 言
二、化學問題
三、熱力學的問題
四、化學動力學的問題
五、CVD設備及係統
六、應 用

第7章 液相錶麵處理
一、前 言
二、前處理
三、無極電鍍
四、取代反應
五、化成被覆
六、電 鍍
七、陽極處理
八、電 鑄
九、廢水處理

第8章 薄膜的成長及微結構
一、前 言
二、錶麵前清理
三、薄膜的成長
四、微結構
五、磊 晶

第9章 薄膜特性及量測
一、前 言
二、厚 度
三、薄膜特性
四、錶麵分析儀器
五、其他錶麵分析儀器

第10章 錶麵蝕刻及微機電係統
一、圖樣化及蝕刻
二、微機電係統
三、矽製程

第11章 奈米技術
一、奈米材料
二、奈米科技發展史
三、奈米閤成和錶麵技術
四、奈米材料之特徵
五、奈米材料之應用
六、結 語

第12章 錶麵的物理化學性質
一、前 言
二、錶麵張力
三、電 濕
四、L-B薄膜

圖書序言

圖書試讀

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