表面与薄膜处理技术(第三版)

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具体描述

固体材料的表面问题既已发展成一非常多样化的科技，很多出版的参考书籍以专题深入探讨或以工具书出现，不易为初学者所接受，也不适宜当教材之用。因此作者就重要的问题分成十二章讨论。这十二章的结构实际上可以看成五个部份，第一部份为基础篇，这些都是干式气相表面处理最常面临的技术。第二部份为气相技术篇，乃常见的干式气相表面处理技术。第三部份为液相技术篇，亦即最传统的表面处理技术，包括无极镀、化成、取代及电镀和电铸，阳极处理实际上相等于电化学反应的化成作用。第四部份为薄膜篇，包括薄膜的成长及微结构、薄膜的特性及量测。第五部份为前瞻篇，它们已脱离常见表面技术的章节，其中有微机电系统、奈米技术及表面的物理化学性质。本书适合大学、科大、技术学院机械工程、电机、电子材料、化学工程科系『薄膜技术』课程使用。

著者信息

图书目录

第1章　绪　论
一、表面处理的意义
二、表面处理的应用
三、表面处理的分类
四、技术选用考量因素
五、结　语

第2章　基本设备
一、温度的量测
二、真空系统

第3章　认识电浆
一、电浆的产生
二、电浆的特性
三、电浆的化学反应
四、电浆在表面技术上的应用

第4章　物理蒸镀
一、热力学
二、气体动力学
三、蒸　镀
四、蒸镀设备
五、合金蒸镀
六、化合物蒸镀
七、应　用

第5章　溅射镀膜
一、前　言
二、粒子的撞击
三、动能的转移
四、撞击效应
五、溅射的方法
六、溅射系数
七、溅射镀膜技术
八、靶　材
九、溅镀和热蒸镀的比较
十、应　用

第6章　化学气相蒸镀
一、前　言
二、化学问题
三、热力学的问题
四、化学动力学的问题
五、CVD设备及系统
六、应　用

第7章　液相表面处理
一、前　言
二、前处理
三、无极电镀
四、取代反应
五、化成被覆
六、电　镀
七、阳极处理
八、电　铸
九、废水处理

第8章　薄膜的成长及微结构
一、前　言
二、表面前清理
三、薄膜的成长
四、微结构
五、磊　晶

第9章　薄膜特性及量测
一、前　言
二、厚　度
三、薄膜特性
四、表面分析仪器
五、其他表面分析仪器

第10章　表面蚀刻及微机电系统
一、图样化及蚀刻
二、微机电系统
三、硅制程

第11章　奈米技术
一、奈米材料
二、奈米科技发展史
三、奈米合成和表面技术
四、奈米材料之特征
五、奈米材料之应用
六、结　语

第12章　表面的物理化学性质
一、前　言
二、表面张力
三、电　湿
四、L-B薄膜

图书序言

图书试读

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