具体描述
微机电系统是在二十世纪末才刚萌芽的新兴科技技术领域，近十年来由于相关产品如气囊加速规、喷墨印表头、光开关、生物晶片的问世，而这些新的科技产品也提升人类的生活品质，因此也就不再有人怀疑微机电系统的相关产品是否能实际的应用于日常生活之中。而这个新兴科技领域也逐渐受到各个先进国家的重视，纷纷成立研究中心或在大学里成立相关系所培养人才，有鑑于有意往微机电领域发展的学生或工程师日渐增多，但介绍微机电制程技术相关的书籍却付之阙如，因此作者希望能抛砖引玉，就过去几年来的研究成果与所使用的微机电技术汇集撰写成书，盼能让国内其他先进也一齐跟进，提供最新的微机电技供国内研究人员与学生们参考。
著者信息
图书目录
- 简介
- 积体电路制程(Lithography, Etching)
- LIGA与LIGA-like制程
- 微系统力学
- 微机电系统封装技术
- 微机电系统之实例─微流量计之设计与制程规划
图书序言
图书试读
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