发表于2024-11-16
电子材料包括范围很广,材料结构、材料物理或化学、半导体、超导体、液晶显示器、薄膜电晶体、积体光学、全像术、微机电、医工、感测器等等·本书专注半导体一个领域。重点在制造半导体元件所用的各种材料;长晶材料、晶圆制程材料、制程用材料、机器设备用材料、无尘室和厂务设施用材料、封装材料等,本书均有详尽的叙述。
编着者十几年来一直在从事半导体相关的教学、收集了不少宝贵的资料。以将近一年的时间编着了这本电子材料,祈望能给想从事半导体制造的同学们一项内容丰富、有力的教科书,业界工程师、研究生、教授老师们一项便捷的参考。
作者简介
张劲燕
现职:逢甲大学电子系副教授
学历:交通大学电子工程研究所博士
经历:新加坡Intersil电子公司工程师
ITT环宇电子公司工程经理
台湾电子电脑公司半导体厂厂长、总经理
万邦电子公司总工程师
明新工专电子科副教授(或兼科主任)
逢甲大学电机系副教授
逢甲大学电子系副教授(或兼系主任)
逢甲大学电子系副教授2001~迄今
代表着作:半导体制程设备,2000,五南图书出版
工程伦理,2000,高立图书公司
工业电子学,2001,五南图书出版
深次微米硅制程技术,2002,五南图书出版
第一章 硅和化合物半导体
第二章 微影照像用材料
第三章 掺质材料
第四章 介电质材料
第五章 清洗材料
第六章 蚀刻材料
第七章 金属制程和材料
第八章 无尘室用材料
第九章 纯水处理材料
第十章 废水废气处理用材料
第十一章 封装和材料
第十二章 厚膜和混成电路用材料
第十三章 奈料材料
电子材料(三版) pdf epub mobi txt 电子书 下载 2024
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