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电子材料(三版)

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出版者 出版社:五南 订阅出版社新书快讯 新功能介绍
翻译者
出版日期 出版日期:2008/02/13
语言 语言:繁体中文



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发表于2024-11-16

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图书描述

  电子材料包括范围很广,材料结构、材料物理或化学、半导体、超导体、液晶显示器、薄膜电晶体、积体光学、全像术、微机电、医工、感测器等等·本书专注半导体一个领域。重点在制造半导体元件所用的各种材料;长晶材料、晶圆制程材料、制程用材料、机器设备用材料、无尘室和厂务设施用材料、封装材料等,本书均有详尽的叙述。

  编着者十几年来一直在从事半导体相关的教学、收集了不少宝贵的资料。以将近一年的时间编着了这本电子材料,祈望能给想从事半导体制造的同学们一项内容丰富、有力的教科书,业界工程师、研究生、教授老师们一项便捷的参考。

作者简介

张劲燕

现职:逢甲大学电子系副教授

学历:交通大学电子工程研究所博士

经历:新加坡Intersil电子公司工程师
   ITT环宇电子公司工程经理
   台湾电子电脑公司半导体厂厂长、总经理
   万邦电子公司总工程师
   明新工专电子科副教授(或兼科主任)
   逢甲大学电机系副教授
   逢甲大学电子系副教授(或兼系主任)
   逢甲大学电子系副教授2001~迄今

代表着作:半导体制程设备,2000,五南图书出版
     工程伦理,2000,高立图书公司
     工业电子学,2001,五南图书出版
     深次微米硅制程技术,2002,五南图书出版

著者信息

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图书目录

第一章 硅和化合物半导体
第二章 微影照像用材料
第三章 掺质材料
第四章 介电质材料
第五章 清洗材料
第六章 蚀刻材料
第七章 金属制程和材料
第八章 无尘室用材料
第九章 纯水处理材料
第十章 废水废气处理用材料
第十一章 封装和材料
第十二章 厚膜和混成电路用材料
第十三章 奈料材料

图书序言

图书试读

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