本书特色

　　真空技术早在20世纪初就出现，直到20世纪后半才迅速被广泛应用。本书从初阶的何谓真空、真空中的物理现象、真空的产生一直到真空的量测、真空系统的组成元件、侧漏技术、超高真空与洁净真空、真空工业的发展，每一个单元都详尽说明。实属史上第一本针对初次接触真空技术的读者做全面性解说的书籍。

　　本书并且是因应当前大众需要所特别撰写，内容尽量解说最基本的入门知识，并搭配图解。因此，即使是非常重要的专业知识也大胆舍弃，相信本书能补足真空技术入门书籍不足的缺憾。读者可将此书当作学习更专业知识前的跳板，掌握基本概要，将让您更得心应手。

作者简介

小宫 宗治　Soji Komiya

　　1948年 东京工业大学附属工业专门部金属工业科毕业

　　1959年 就职于日本真空技术株式会社

　　1977年 获得东京工业大学工学博士学位

　　1979年 被任命为日本真空技术株式会社董事(director)

　　1986年 就职于株式会社Ulvac Cooperate Center董事(director)

　　1990年 就职于株式会社筑波研究联合中心(consortium) 常务董事(director)

　　1995年 就职于株式会社筑波研究联合中心(consortium) 专务理事

　　1998年 由株式会社筑波研究联合中心(consortium) 专务理事退休

　　着作有：《电子管的管史》（□□□社）《实验物理学讲座4「真空技术」》（共立出版）《□□□□□□□□．表面分析的科学》（讲谈社）《表面处理□材料》（裳华房）以上四书为与他人共着作品。《超高真空□□□□世界》（讲谈社）《週末八□岳□□□暮□□》（晶文社）《定年后八□岳□□□暮□□》（晶文社）

译者简介

罗丞曜

　　日本东京大学毕业。电气工学博士。现任国立清华大学奈米工程与微系统研究所 助理教授。近期研究兴趣为半导体材料、光学微机电系统、印刷式生产技术及软性电子元件。截至目前为止个人着有十八篇科技论文并拥有六件半导体元件制程国际专利。自2000年起持续从事英文及日文科技图书及论文的翻译、校稿及润稿工作。目前译有《图解光与雷射应用》(世茂出版)。

第一章 何谓真空？

1-1 真空的作用
1. 真空到底是什么？
2. 为什么需要真空？

1-2 真空技术的基础(气体分子的运动)
1. 真空的定义与压力的单位
2. 气体分子的密度与压力
3. 气体分子的碰撞与平均自由径
4. 真空容器的尺寸及平均自由径
5. 碰撞真空容器内壁的气体分子数量及压力

1-3 气体流通的难易程度：传导性
1. 传导性的定义
2. 长圆导管的传导性
3. 开孔的传导性(分子流)
4. 短圆导管的传导性(分子流)
5. 弯曲导管的传导性
6. 串联及并联的传导性及其蒙地卡罗计算

第二章 真空中发生的物理现象

2-1 真空中的蒸发、昇华
1. 水的蒸发，冰的昇华
2. 金属的蒸发、真空蒸镀
3. 高分子油的蒸发、真空蒸镀

2-2 真空与热
1. 对流与分子热传导
2. 真空中的热辐射
3. 真空及低温

2-3 吸附及脱离
1. 壁面上的凝缩及物理吸附
2. 滞留时间

2-4 真空中的放电现象
1. 电子
2. 离子与高速中性粒子
3. 电浆与真空
4. 溅镀

第三章 真空的产生

3-1 从大气压下开始排气的粗抽帮浦
1. 油回转帮浦
2. 粗抽帮浦的排气时间

3-2 增强粗抽能力的帮浦

3-3 油扩散帮浦
1. 理想排气速度及Ho氏系数
2. 排气机制的原理
3. 实用的油扩散帮浦
4. 油扩散帮浦的崩溃
5. 油扩散帮浦的排气速度曲线(S-P曲线)

3-4 涡轮分子帮浦
1. 排气机制的原理
2. 排气速度
3. 涡轮分子帮浦的压缩比

3-5 排气系统的组合
1. 综合排气特性
2. 动态高真空排气系统

第四章 真空的量测

4-1 量测从大气压到低真空领域的真空计
1. 水银压力计
2. 机械式压力计
3. 马克劳真空计

4-2 低真空领域的实用真空计
1. 将微小的变化量转换成电子讯号并扩张其量测下限的隔膜真空计
2. 利用分子热传导的真空计
3. 旋转转子真空计1)

4-3 离子化真空计
1. 三极管型热阴极离子化真空计
2. 贝宁真空计

4-4 真空计的安装方法

第五章 真空系统的组成零件

5-1 法兰及衬垫
1. 高真空法兰
2. 弹性衬垫
3. 金属衬垫法兰

5-2真空阀
1. 高真空用L型阀
2. 高真空用闸阀
3. 超高真空用VITON密封阀
4. 超高真空用全金属制可烘烤密封阀

5-3真空端子
1. 弹性密封电流导入端子
2. 金属衬垫密封电流导入端子
3. 弹性密封液体导入端子
4. 超高真空用液体导入端子与连接头
5. 弹性轴心密封回转导入端子
6. 超高真空用回转导入端子
7. 超高真空用直线导入端子

第六章 测漏技术

6-1 分辨漏气及气体放出的方法

6-2易漏部份

6-3确实地测漏
1. 吊袋法(hood method)
2. 探测法(probe method)

6-4 氦气测漏仪
1. 氦气测漏仪与标准漏气
2. 漏气检测的时效常数
3. 找到漏气来源之后

6-5 借由质量分析仪来监控真空的品质

第七章 超高真空与洁净的真空

7-1 高真空及超高真空在质上的差异

7-2产生超高真空
1. 溅镀离子帮浦及钛吸附帮浦
2. 机械式冷凝帮浦

7-3量测真空
1. 真空管型离子真空计的软X光下限
2. 反向思考的B-A阀

7-4 放出气体的特性
1. 不?钢的放出气体特性
2. 烘烤及弹性体
3. 陶瓷
4. 烘烤及放出气体的减量理论模型

7-5 超高度真空系统下的特殊构成零件
1. 观察窗口
2. 超高真空系统的润滑

7-6 到底何谓洁净的真空？

第八章 真空工业的发展

8-1 真空技术之树

8-2 先进的成膜加工之例

附录 I 马克士威分布法则
1. 压力
2. 速度分佈
3. 与音速的关系

附录 II 气体分子的平均自由径
1. 气体分子相碰撞时的平均自由径
2. 平均自由径与分子直径的关系
3. 的真正涵义

附录 III 碰撞内壁的气体分子数

索引