半導體元件物理與製程:理論與實務(四版)

半導體元件物理與製程:理論與實務(四版) pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

劉傳璽
图书标签:
  • 半导体
  • 元件物理
  • 半导体制造
  • 集成电路
  • 物理学
  • 电子工程
  • 材料科学
  • 工艺
  • 器件
  • 四版
想要找书就要到 小特书站
立刻按 ctrl+D收藏本页
你会得到大惊喜!!

具体描述

  以深入淺出的方式,系統性地介紹目前主流半導體元件(CMOS)之元件物理與製程整合所必須具備的基礎理論、重要觀念與方法、以及先進製造技術。內容可分為三個主軸:第一至第四章涵蓋目前主流半導體元件必備之元件物理觀念、第五至第八章探討現代與先進的CMOS IC之製造流程與技術、第九至第十二章則討論以CMOS元件為主的IC設計和相關半導體製程與應用。由於強調觀念與實用並重,因此儘量避免深奧的物理與繁瑣的數學;但對於重要的觀念或關鍵技術均會清楚地交代,並盡可能以直觀的解釋來幫助讀者理解與想像,以期收事半功倍之效。
 
  本書宗旨主要是提供讀者在積體電路製造工程上的know-how與know-why;並在此基礎上,進一步地介紹最新半導體元件的物理原理與其製程技術。它除了可作為電機電子工程、系統工程、應用物理與材料工程領域的大學部高年級學生或研究生的教材,也可以作為半導體業界工程師的重要參考
 
本書特色
 
  ●包含實務上極為重要,但在坊間書籍幾乎不提及的WAT,與鰭式電晶體(Fin-FET)、環繞式閘極電晶體(GAA-FET)等先進元件製程,以及碳化矽(SiC)與氮化鎵(GaN)功率半導體等先進技術。
 
  ●大幅增修習題與內容,以求涵蓋最新世代積體電路製程技術之所需。
 
  ●以最直觀的物理現象與電機概念,清楚闡釋深奧的元件物理觀念與繁瑣的數學公式。
 
  ●適合大專以上學校課程、公司內部專業訓練、半導體從業工程師實務上之使用。
好的,这是一份关于一本名为《现代集成电路设计与先进封装技术》的图书简介,内容详实,旨在探讨半导体行业前沿领域,但不涉及您提供的原书内容。 --- 现代集成电路设计与先进封装技术:从晶体管到系统级集成 导言:半导体技术的新篇章 在信息技术高速发展的今天,集成电路(IC)作为现代电子设备的核心“芯片”,其性能的提升直接决定了信息处理速度、功耗效率以及系统小型化的极限。随着摩尔定律的挑战日益严峻,传统的设计范式正在被颠覆,新的材料、结构和封装技术成为推动半导体产业继续前行的关键驱动力。《现代集成电路设计与先进封装技术》一书正是在这一历史转折点上应运而生。本书并非停留在对基础半导体器件物理的重复阐述,而是聚焦于当前行业最前沿的设计方法学、新兴晶体管结构以及革命性的三维(3D)异构集成技术。 本书系统性地梳理了从纳米尺度下的器件建模到面向特定应用(如AI加速、高速通信)的系统级芯片(SoC)设计流程,并深入剖析了先进封装技术如何成为突破传统尺寸和性能瓶颈的“最后疆土”。本书旨在为电子工程、微电子学、材料科学以及计算机体系结构等领域的工程师、研究人员和高年级学生提供一本全面、深入且极具实践指导意义的参考手册。 第一部分:前沿CMOS技术与新兴器件 本部分着重探讨了在传统平面CMOS结构面临物理极限时,业界为维持性能提升所采用的先进技术路径。 第1章:FinFET架构的深入解析与性能优化 FinFET(鳍式场效应晶体管)是当前主流的20nm及以下工艺节点的关键技术。本章首先回顾了其相对于传统MOSFET在短沟道效应抑制、亚阈值摆幅(SS)控制方面的优势。重点深入分析了FinFET的多指设计(Multi-Gate Design)、鳍结构尺寸的优化对漏电流和驱动电流的影响。此外,还讨论了静电完整性(Electrostatic Integrity)的挑战,以及如何通过调整栅氧化层厚度(Tox)和源/漏工程来精细调控器件性能。 第2章:后CMOS时代的新兴晶体管结构 面对未来更小的特征尺寸和更低的功耗需求,本书详细介绍了下一代有前景的晶体管技术。 GAA(Gate-All-Around)FETs与Nanosheets/Nanowires: 探讨了环绕式栅极结构如何实现更优异的静电控制,并对比了基于Si、SiGe、III-V族材料的Nanosheet/Nanowire结构在载流子迁移率和集成密度上的潜力与挑战。 TFETs(Tunneling FETs): 阐述了其基于带间隧穿机制,有望实现低于60mV/decade的亚阈值摆幅,从而显著降低静态功耗的原理、结构设计和实际应用中的瓶颈。 二维材料晶体管: 考察了如二硫化钼(MoS2)等二维材料在极薄沟道和高载流子迁移率方面的优势,及其在构建超低功耗逻辑电路中的前景。 第二部分:系统级集成与设计方法学 本部分将视野从单个晶体管扩展至整个芯片系统,探讨现代SoC设计流程中的关键技术挑战与优化策略。 第3章:高级低功耗设计(Advanced Low-Power Design) 功耗已成为决定移动设备和数据中心性能的关键因素。本章细致剖析了多层次的低功耗设计技术。 动态功耗管理: 包括频率/电压调节(DVFS)、时钟门控(Clock Gating)的层次化实现,以及亚阈值供电(Near-Threshold Computing, NTC)的原理与挑战。 静态功耗优化: 探讨了使用多阈值电压(Multi-Vt)库、睡眠晶体管(Sleep Transistor)的应用,以及穿透电流(Subthreshold Leakage)的建模与最小化技术。 第4章:先进VLSI设计流程与验证 本书全面覆盖了从前端RTL到后端物理实现的高级工具和方法。 时序收敛与物理设计: 重点介绍在先进工艺节点下,互连延迟成为主导因素的问题。讨论了寄生参数提取(Parasitic Extraction)的精确性要求、布线拥塞的缓解、以及时序驱动布局(Timing-Driven Place and Ment)的复杂性。 签核(Sign-off)技术: 深入讲解了静电放电(ESD)防护网络的设计、IR-Drop(电压降)的分析与修复,以及LVS/DRC规则的复杂性应对。 第5章:面向特定领域的架构创新 阐述了通用处理器架构(如CPU/GPU)之外,为满足新兴应用需求而设计的定制化架构。 AI加速器设计: 分析了脉动阵列(Systolic Array)、内存访问优化(Dataflow Optimization)和稀疏性处理(Sparsity Handling)在设计高效深度学习推理和训练芯片中的作用。 高速SerDes和接口设计: 探讨了如何在高频下维持信号完整性(SI),以及均衡技术(如DFE, CTLE)在长距离、高速串行数据传输中的应用。 第三部分:先进封装与异构集成技术 在芯片尺寸难以继续缩小的背景下,先进封装技术成为实现系统性能飞跃的关键路径。本部分是本书的创新核心。 第6章:2.5D与3D集成基础理论 本书清晰区分了2.5D(如2.5D interposer)和3D IC(如堆叠存储器/逻辑)的概念及其各自的优势。 中介层(Interposer)技术: 详细介绍了硅基(Si Interposer)和有机基(Organic Interposer)的制造工艺、TSV(Through-Silicon Via,穿硅过孔)的形成、热管理挑战,以及如何利用其实现Chiplet的并联。 3D堆叠技术: 重点关注超薄晶圆的制造、晶圆键合(Bonding)技术(如直接键合、混合键合),以及在微凸点(Micro-Bump)连接中实现高密度互连的难题。 第7章:先进封装的热、电与机械挑战 先进封装将多个功能芯片紧密集成,带来了前所未有的系统级挑战。 热管理(Thermal Management): 3D结构下热流密度急剧增加,本章分析了热阻的量化模型,以及如何通过热过孔(Thermal Via)、相变材料(PCM)和先进的散热顶盖(Integrated Heat Spreader)来维持芯片的可靠运行温度。 电源完整性(Power Integrity, PI)在异构集成中的优化: 讨论了在多层堆叠结构中,如何设计有效的去耦电容网络,以最小化封装层级的压降噪声,确保不同功能芯片间的电源稳定性。 机械应力分析: 键合和TSV工艺引入的应力可能导致器件失效。本章应用有限元分析(FEA)方法,评估了不同材料组合和结构设计下的应力分布,并提出了应力缓解策略。 第8章:Chiplet生态系统与异构设计流程 Chiplet(小芯片)正在重塑IC产业布局,本书最后探讨了基于Chiplet的系统设计范式。 Chiplet互连标准: 概述了UCIe(Universal Chiplet Interconnect Express)等新兴的互连协议,分析了其物理层、逻辑层对不同工艺节点和不同供应商芯片互操作性的影响。 片上网络(NoC)的演进: 探讨了在异构多核/多Chiplet系统中,如何设计高效、低延迟、高带宽的片上网络拓扑结构和路由算法,以优化跨异构单元的数据传输效率。 总结 《现代集成电路设计与先进封装技术》不仅是一本技术教科书,更是一份面向未来的路线图。它弥合了传统器件物理与尖端系统集成技术之间的鸿沟,系统性地呈现了半导体行业为突破物理极限所做的多维努力。通过对新兴晶体管、低功耗设计方法和颠覆性封装技术的深度解析,本书将帮助读者全面掌握驱动下一代计算设备的核心技术脉络。

著者信息

作者簡介
 
劉傳璽
 
  學歷:
  美國亞歷桑那州立大學電機博士
 
  現職:
  國立臺灣師範大學機電工程學系教授
  國際知名學術期刊(如IEEE等)之專業論文審查委員
 
  經歷:
  考試院典試委員
  國家高等考試命題委員
  法務部司法官學院講座、司法院法官學院講座(講授「半導體產業營業秘密介紹」)
  國立臺灣師範大學副教務長兼通識中心主任、進修推廣學院副院長
  科技部專題計畫審查委員、複審委員
  勞動部勞動力發展署複審委員
  經濟部工業局專業審查委員
  國立臺灣師範大學領航教師、教學傑出教師
  中華民國教育學術團體木鐸獎獲獎人、行政院科技部特殊優秀人才獎勵
  教育部高等教育司學術倫理審查委員
  教育部國教署課程審議委員、教育部中等學校師培專門課程審查委員
  銘傳大學電子系副教授兼系主任、國際學院學群主任
  國立台北科技大學兼任副教授
  聯華電子公司經理
  美國紐約IBM公司研發工程師
  2003 & 2004 IEEE/IEDM與2011 IEEE/INEC之委員會委員與論文審查委員
  2003 IEEE/IRPS workshop moderator與2011 VLSI Technology論文審查
  國際知名期刊IEEE Electron Device Letters (EDL), Transactions on Electron Devices (T-ED), Transactions on Device and Materials Reliability (T-DMR), Journal of the Electrochemical Society (JES), Applied Physics Letters (APL), Journal of Applied Physics (JAP), Microelectronic Engineering (MEE), 與Progress in Photovoltaics (PIP)…等之審稿委員
  新竹科學園區台積電、聯電、聯詠科技、華邦電…等上市櫃科技公司與法務部調查局之授課老師或專題演講
  
  著作:
  國際學術論文超過100篇、中文書籍6本、中美專利超過20件
  
陳進來 
 
  學歷:
  國立交通大學電子工程博士
  上海復旦大學EMBA
 
  現職:
  聯發科(MediaTek)製造本部副總經理
 
  經歷:
  新加坡Denselight (三五族銦磷雷射設計製造)營運長
  新加坡Advanced Micro Foundry副總經理、矽光子8吋廠廠長
  永續智財技術服務有限公司總經理
  宜特科技中華區副總經理
  聯華電子製程整合部經理/技術開發10年經驗
  國際電子元件會議(IEDM) IC製造委員會(ICM)主席(2000-2002)
  國際電子元件會議(IEDM) 亞洲主席(2003-2004)
  第十二屆中華民國國家發明獎個人組銅牌(2003)
 
  著作:
  21篇半導體製程/元件開發論文、120件中華民國/美國/日本/韓國半導體製程專利 

图书目录

第一章 半導體元件物理的基礎
1.1 半導體能帶觀念與載子濃度
1.2 載子的傳輸現象
1.3 支配元件運作的基本方程式

第二章 P-N 接面
2.1 P-N接面的基本結構與特性
2.2 零偏壓
2.3 逆向偏壓
2.4 空乏層電容
2.5 單側陡接面
2.6 理想的電流-電壓特性
2.7 實際的電流-電壓特性
2.8 接面崩潰現象與機制

第三章 金氧半場效電晶體(MOSFET)的基礎
3.1 MOS電容的結構與特性
3.2 理想的MOS(金氧半)元件
3.3 實際的MOS(金氧半)元件

第四章 長通道MOSFET元件
4.1 MOSFET的基本結構與類型
4.2 基本操作特性之觀念
4.3 電流-電壓特性之推導
4.4 其他重要元件參數與特性

第五章 短通道MOSFET元件
5.1 短通道元件的輸出特性
5.2 短通道元件的漏電流現象

第六章 CMOS製造技術與製程介紹
6.1 CMOS製造技術
6.2 CMOS製造流程介紹

第七章 製程整合
7.1 元件發展需求
7.2 基板工程(substrate engineering)
7.3 閘極工程
7.4 源/汲極工程(Source/Drain engineering)
7.5 內連線工程(inter-connection)

第八章 先進元件製程
8.1 先進元件製程需求
8.2 SOI
8.3 應變矽Strain Si
8.4 非平面元件 3D device
8.5 高介電閘極氧化層(High K gate dielectric)
8.6 金屬閘極Metal gate

第九章 邏輯元件
9.1 邏輯元件的要求—速度、功率
9.2 反向器(Inverter)
9.3 組合邏輯(Cmbinational Logic)
9.4 時序邏輯Sequential Logic —Latch, DFF
9.5 邏輯元件應用Standard Cell、Gate Array、CPLD、FPGA

第十章 邏輯/類比混合訊號
10.1 混合訊號特性
10.2 混合訊號電路
10.3 混合訊號的主動元件( Active device)
10.4 混合訊號被動元件(Passive device)
10.5 混合訊號電路特別需求

第十一章 記憶體
11.1 CMOS記憶體特性與分類
11.2 靜態隨機存取記憶體SRAM
11.3 動態隨機存取記憶體DRAM
11.4 快閃記憶體Flash
11.5 發展中的先進記憶體

第十二章 分離元件
12.1 功率二極體 
12.2 功率金氧半場效電晶體 
12.3 溝槽式閘極功率金氧半電晶體 
12.4 超接面金氧半電晶體Super Junction MOSFET 
12.5 絕緣閘雙極型電晶體Insulated Gate Bipolar Transistor 
12.6 碳化矽(SiC)功率半導體SiC 
12.7 氮化鎵(GaN) 功率半導體

第十三章   元件電性量測WAT 413
13.1 直流(DC)電性量測
13.2 C-V(capacitance-voltage)電性量測
13.3 RF 電性量測
13.4 元件模型

第十四章 SOC 與半導體應用
14.1 IC 功能分類 
14.2 SOC 
14.3 半導體應用
14.4 資訊電子Computer 
14.5 通訊電子Communication 
14.6 消費性電子Consumer 
14.7 汽車電子Car 
14.8 網際網路

图书序言

  • ISBN:9786263175143
  • 規格:平裝 / 560頁 / 19 x 26 x 2.8 cm / 普通級 / 單色印刷 / 四版
  • 出版地:台灣

图书试读

 
  目前積體電路的設計生產模式分為兩種,一為整合元件製造(IDM),將電路設計與晶片製造在同一積體電路公司內完成。另一則為台灣發展出的垂直分工模式,電路設計公司(circuit design house)專門負責設計特定功能的晶片,而晶片的製造則交給專業的晶圓專工廠(foundry)來做。這種生產模式的優點是專業分工,電路設計公司負責設計更多工,更高效率的電路,晶圓專工則專注於半導體製程的整合開發,以提升良率(yield)與產能(throughput)。但此分工模式往往存在一道專業上的隔閡於電路設計者(circuit designer)與製程整合工程師(process integration engineer)之間。
 
  電路設計者與製程整合工程師共同關注的重點為半導體元件的操作與性能,本書以深入淺出的方式,系統性地介紹CMOS元件物理與製程整合所必須具備的基礎理論、重要觀念、先進技術以及製程與電路間的相互關係。由於強調觀念與實用並重,因此儘量避免深奧的物理與繁瑣的數學;但對於重要的觀念或關鍵技術均會清楚地交代,並盡可能以直觀的解釋來幫助讀者理解與想像,以期收事半功倍之效。
 
  本書宗旨是提供讀者在積體電路製造工程上的know-how與know-why,希望藉由本書的發行,能夠提供製程整合工程師與電路設計者之間一座最佳的橋樑。因此我們花了接近兩年的時間把在半導體業界多年來的技術研發經驗與實務心得,配合參考相關的技術論文和書籍、以及受邀至學界與業界授課的資料,編寫成冊。為了避免談論到產業的營業機密,引述的內容多來自已公開發表的學術論文。另外在先進製程部分,可能存在著專業看法的差異,歡迎業界先進來函討論,謬誤部分也敬請予以指正,以作為再版時參考,謝謝。

用户评价

评分

我對教科書的「可讀性」也有一定要求,畢竟理工書不是用來炫耀學問的,而是用來傳授知識的工具。儘管內容必須嚴謹,但敘述方式如果能兼顧邏輯的連貫性和清晰度,那學習效率自然會大幅提升。我特別欣賞那種能夠「以小見大」,從簡單的模型出發,逐步引入複雜性,讓讀者能夠跟著作者的思路逐步建構起整個元件物理圖像的寫作風格。如果這本書在概念的引入上能夠做到這一點,避免一開始就拋出過於複雜的數學表達式,而是先用直觀的方式建立物理圖像,再輔以嚴謹的推導,那它就能成功跨越「理論深奧」與「實際應用」之間的鴻溝。對於剛接觸這個領域的學生來說,清晰的結構和循序漸進的難度曲線,是他們能否真正掌握這門複雜學科的決定性因素。我希望這本「四版」在文字的潤飾上,能比前幾版更加流暢易懂,真正成為一本適合從大一到研究所都能持續使用的經典。

评分

說到台灣的半導體產業環境,我們對技術的追求是近乎苛刻的,特別是對元件的可靠性和良率極為重視。因此,一本好的教科書在探討元件物理時,不能迴避「可靠度」這個大哉問。我期望這本書在探討元件操作的極限時,能詳細說明諸如熱載流子效應(HCI)、偏壓溫度不穩定性(BTI)等導致元件老化的物理機制。更進一步,如果書中能涵蓋一些與良率分析相關的基礎概念,例如如何從元件的電性分佈中反推製程參數的波動性,那對從事製程整合(Process Integration)的同仁來說,簡直是如虎添翼。這類知識往往不常在基礎的元件物理課本中被強調,但卻是支撐晶圓廠穩定運作的關鍵。如果這本書能補足這塊「硬核實戰」的知識,讓讀者在面對量產階段的挑戰時,不是只有理論上的想像,而是有堅實的物理依據去進行故障分析,那就值得入手。

评分

這本關於半導體元件物理與製程的書,光是看書名就讓人感覺到那種紮實的學術氣息,光是「四版」這兩個字,就代表著經過時間的淬鍊和學術界的認可。對於在電子工程領域打滾的我們來說,一本好的參考書就像是武林秘笈,能讓你事半功倍。我記得我以前唸書的時候,手上拿的教材總是有點跟不上業界技術的快速演進,特別是製程這一塊,幾乎是每隔一兩年就有新突破。這本書如果能把這些最新的技術脈絡梳理清楚,那價值就不只是學術上的探討,更是實際操作上的指南。尤其是在台灣這個半導體產業鏈極為發達的地方,從IC設計到晶圓代工,每一個環節都需要對元件物理有深刻的理解,才能設計出高效能、低功耗的晶片。我特別期待它在量子效應、新興材料如GaN或SiC元件的介紹上能有獨到的見解,畢竟這些都是未來幾年內決定產業競爭力的關鍵。如果它能用清晰的圖表和實際的案例來輔助說明複雜的物理模型,那對我們這些一線的工程師來說,絕對是案頭不可或缺的寶典。

评分

這本書的編排方式,對我這個喜歡系統性學習的人來說非常重要。我希望它不是零散地介紹各種元件,而是能建立一個清晰的知識體系。從最基礎的半導體材料特性、載子傳輸,穩步推進到PN接面、雙極性電晶體,最終聚焦到現代CMOS技術的複雜結構。特別是對於「四版」的更新,我非常好奇它如何處理後摩爾時代的挑戰。例如,在鰭式場效電晶體(FinFET)已經成為主流的今天,書中對於其三維結構下的電性分析和製程控制的細節描述,是否足夠深入?很多舊教材在提到這些前沿結構時,往往只是一筆帶過,無法滿足現階段對高階製程的理解需求。如果它能將先進的電性量測技術,如TCAD模擬的結果,融入到對物理機制的解釋中,那將會是一大亮點。畢竟,現代半導體研發已是高度依賴模擬工具的時代,能將理論與工具應用結合的書籍,才是真正跟得上時代的。

评分

拿到一本厚實的理工書籍,最怕的就是那種乾巴巴、充滿艱澀數學公式的文字堆砌,讀起來就像在啃石頭一樣折磨人。這本《半導體元件物理與製程:理論與實務(四版)》,我希望它在「實務」這兩個字上有真正的著墨。理論是基礎,當然要穩固,但真正區分優秀工程師和一般學生的,往往是對製程參數的掌握和對實際晶片缺陷的判斷能力。我猜想,好的教材會把物理原理和實際的蝕刻、沉積、摻雜等步驟緊密結合起來,解釋為什麼某個製程步驟會導致元件特性產生預期的(或非預期的)變化。例如,在討論MOSFET的短通道效應時,書中能否圖文並茂地展示不同閘極長度下電場的分佈,並且連結到實際的製程公差如何影響最終的崩潰電壓?如果它能像一位經驗豐富的製程工程師在傳授經驗一樣,提供一些「避坑指南」或者在特定製程節點下需要特別注意的參數範圍,那就太棒了。畢竟,理論上的完美模型,在真實的晶圓廠裡總是有那麼多限制和妥協。

相关图书

本站所有内容均为互联网搜索引擎提供的公开搜索信息,本站不存储任何数据与内容,任何内容与数据均与本站无关,如有需要请联系相关搜索引擎包括但不限于百度google,bing,sogou

© 2025 ttbooks.qciss.net All Rights Reserved. 小特书站 版权所有