超精密加工技术

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具体描述

　　「超精密加工」是为了追求更精密的精度，在新制品中以特定元件的专用工作机械，来集合技术精华而开发出来的。

　　本书内容涵盖现今所有高科技领域，包含超精密加工机械、切削、研磨、抛光、微影成像、蚀刻技术及高精密透镜等。

　　为目前政府推动高科技尖端工业不可或缺的工具书。本书适合机械科系之大专院校、研究所及相关产业之从业人员使用。

著者信息

图书目录

　　ch01 超精密加工的必要性

1-1 前言

1-2 奈米技术

1-3 超精密加工的用途

1-4 超精密工法

　　ch02 超精密加工机械

2-1 前言

2-2 超精密加工之设计

2-3 回转要素

2-4 直线运动要素

2-5 定位控制

2-6 机体构造

2-7 环境

　　ch03 超精密切削

3-1前言

3-2 超精密切削面的形状

3-3 切削工具

3-4 利用单精钻石

3-5 铁系材料切削

3-6 超精密钻石切削的应用例

3-7 大输出CO2雷射用反射透镜

3-8 具微细沟槽的栅状透镜

3-9 结语

　　ch04 超精密研磨

4-1 特殊半导体基板的高精度研磨法

4-2 精密陶瓷之镜面研磨ch05 超精密抛光

5-1 前言

5-2 抛光加工的力学作用

5-3 抛光加工的化学作用

5-4 干式超精密抛光

5-5 结语

　　ch06 微影成像及蚀刻

6-1 微影成像

6-2 蚀刻技术

　　ch07 高精度塑胶透镜

7-1 前言

7-2 高精度塑胶制品的现状

7-3 高精度塑胶透镜的要素技术

7-4 高精度塑胶透镜的品质管制

7-5 高精度塑胶透镜的未来展望

图书序言

图书试读

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