光电技术实验 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

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　　本书实验操作是配合光电技术理论部份而设计。共分为光电探测、光电弱信号探测、光学调变器原理及信号解调方法、摄像器件的使用及其信号处理方法、及光电技术综合应用等五大部份。实验的内容注重实际应用及操作。使实习者可从实验的过程中了解各项实验装置及器才的特性，使用方法，及各装置系统介面连结所需注意的项目，同时验证在理论中所述之原理及真实性与准确性。

《微纳加工工艺与设备》 图书简介 本书全面系统地介绍了微纳尺度下的制造技术、核心工艺流程及其所依赖的关键设备，旨在为从事微电子、光电子、MEMS（微机电系统）、生物芯片等领域的研究人员、工程师及高年级本科生、研究生提供一本深入且实用的参考教材。本书内容紧密结合当前集成电路制造、先进封装、传感器制造等前沿领域的发展需求，力求在理论深度与工程实践之间找到最佳平衡点。 第一部分：微纳加工基础与前驱技术 本部分首先奠定了微纳制造的物理和化学基础。详细阐述了在微米和纳米尺度下，材料的表面能、界面效应、薄膜生长动力学等基础物理现象。 1.1 洁净室环境与超净技术： 深入探讨了微纳加工对环境的极端要求。内容涵盖洁净室的等级划分（ISO标准、联邦标准）、空气流动控制原理、颗粒物的监测与控制技术。重点介绍了超净水（UPW）的制备工艺、化学品纯化技术以及人员洁净服的规范和穿戴流程，强调洁净度对最终产品良率的决定性影响。 1.2 薄膜沉积技术（上）： 侧重于物理气相沉积（PVD）方法。详细解析了热蒸发、电子束蒸发（E-beam Evaporation）的工作原理、真空系统的要求（高真空与超高真空）、源材料的选择以及薄膜厚度、均匀性和致密度的控制。随后，深入探讨了溅射技术（Sputtering），包括DC磁控溅射、射频溅射的物理机制，以及反应性溅射（Reactive Sputtering）在制备化合物薄膜（如氧化物、氮化物）中的应用，并分析了溅射过程中的等离子体诊断技术。 1.3 薄膜沉积技术（下）： 聚焦化学气相沉积（CVD）家族。系统介绍了APCVD、LPCVD、PECVD（等离子体增强化学气相沉积）的反应动力学、温度依赖性、气体配比对薄膜化学组分的影响。特别关注了原子层沉积（ALD）技术，详细解析了其自限制反应机制、阶梯式生长模式，以及ALD在实现超薄、高均匀性、高纵横比结构填充方面的独特优势。 第二部分：关键图形转移技术 图形转移是微纳制造的核心环节，本部分集中论述了光刻、刻蚀和电子束直写等关键技术。 2.1 光刻技术（Lithography）： 全面覆盖了从传统接触/接近式光刻到最前沿的浸没式光刻技术。深入讲解了光刻胶的化学结构、敏感性、对比度及分辨率的定义。重点剖析了掩模版（Mask）的制作与检测，以及光刻系统的关键参数（如数值孔径NA、波长、相差）。对于深度解析光刻（DUV）中的瑞利判据、OPC（光学邻近效应校正）原理进行了详尽的数学描述和工程应用实例分析。 2.2 刻蚀技术（Etching）： 区分了湿法刻蚀和干法刻蚀。湿法刻蚀部分分析了各向同性腐蚀的特点、速率控制以及掩模材料的选择。干法刻蚀部分是本书的重点，详细介绍了等离子体刻蚀（Plasma Etching）的物理与化学协同机制。深入探讨了反应离子刻蚀（RIE）、高密度等离子体刻蚀（如ICP-RIE）中离子轰击能量、反应气体种类、偏压对刻蚀速率、选择比和侧壁轮廓的影响。对关键的深反应离子刻蚀（DRIE/Bosch工艺）在制作高深宽比结构方面的应用和挑战进行了专项阐述。 2.3 电子束/离子束直写技术： 介绍了电子束光刻（EBL）作为纳米图形的“终极工具”的工作流程，包括电子束与物质的相互作用、背散射效应、多层抗蚀剂系统（如PMGI/PMMA堆叠）的应用。同时，简要介绍了聚焦离子束（FIB）在材料微加工、缺陷修复和纳米结构原位观察中的独特功能。 第三部分：表面与体积结构制造 本部分拓展至非平面光刻技术和三维结构制造。 3.1 软光刻与模版技术： 详细介绍了微接触印刷（µCP）、微转印（µTP）、光刻胶图案转移等基于柔性模版的微纳制造技术。重点分析了PDMS（聚二甲基硅氧烷）模具的制备、表面官能化处理，及其在微流控芯片制造中的应用。 3.2 表面形貌控制与抛光： 阐述了化学机械抛光（CMP）技术，解析了其在平面化过程中的化学腐蚀与机械研磨的协同作用。内容覆盖了抛光垫、抛光液（浆料）的组分选择、腔体设计以及在线检测方法，这是实现先进集成电路多层互联结构的关键技术。 3.3 快速原型与增材制造： 讨论了适用于微纳尺度的增材制造方法，如双光子聚合（Two-Photon Polymerization, TPP）技术，分析了其超高的空间分辨率和在制作复杂三维光学结构、微机械结构上的潜力。 第四部分：先进制造中的关键单元操作 本部分涵盖了集成制造流程中不可或缺的辅助工艺。 4.1 薄膜的退火与热处理： 探讨了快速热退火（RTA）在激活掺杂剂、修复晶格损伤、优化薄膜晶相结构中的作用。分析了不同热处理气氛（惰性、还原、氧化）对材料性能的改变。 4.2 掺杂与注入技术： 重点介绍离子注入技术（Ion Implantation），包括注入机的基本结构、能量与剂量的控制、注入角效应。同时，介绍了退火如何与注入过程协同工作以达到所需的电学特性。 4.3 键合与封装： 介绍了晶圆级键合技术，包括直接键合（Direct Bonding）、共晶键合（Eutectic Bonding）和聚合物键合。分析了键合界面质量的评价标准，以及在构建3D集成器件和MEMS封装中对气密性、机械强度和热管理的要求。 结论与展望 全书最后对微纳制造技术的发展趋势进行了展望，包括对极紫外光刻（EUVL）的深入分析，新一代高通量制造平台（如纳米压印，NIL）的商业化进程，以及面向下一代计算架构（如量子器件、神经形态芯片）所需的全新制造范式与挑战。本书结构严谨，图文并茂，旨在成为微纳制造领域技术人员和学习者的必备参考书。

　第一部份 光电探测器
　第二部份 光电信号探测
　第三部份 光学调变器原理及信号解调方法
　第四部份 摄像器件的使用及其信号处理方法
　第五部份 光电技术综合应用

评分☆☆☆☆☆

這本《光電技術實驗》真的是讓我大開眼界！我本來以為光電技術聽起來很專業，可能會有點難懂，但翻開這本書，驚喜地發現它用非常生動有趣的方式呈現了許多令人著迷的實驗。書中詳細介紹了雷射的原理，還有許多我們生活中隨處可見的光電應用，像是光纖通訊、LED照明，甚至是觸控螢幕的原理，都用圖文並茂的方式解釋，讓我這個對科學本來有點距離的人，也覺得豁然開朗。尤其讓我印象深刻的是，書中對於實驗步驟的拆解非常細緻，每一個小細節都交代得清清楚楚，從器材的準備、操作的步驟，到實驗結果的分析，都非常到位。即使是初學者，也能夠跟著書中的引導，親手完成一個又一個有趣的實驗，真實地感受到光電技術的魅力。我特別喜歡書中提到的幾個實驗，像是製作簡易的雷射掃描器，還有利用光敏電阻製作光線感應器，這些都讓我對光電的原理有了更直觀的理解。而且，書中還提供了許多常見問題的解答，以及實驗的注意事項，大大減少了學習過程中的挫敗感。總之，《光電技術實驗》是一本非常值得推薦的入門書籍，無論你是學生、老師，還是對光電技術充滿好奇的讀者，都能從中獲益良多，開啟一段奇妙的光電探索之旅。

评分☆☆☆☆☆

讀完《光電技術實驗》，我最大的感受就是「原來科學可以這麼好玩！」。我平常對物理、化學這些科目總是感到有點抽象，但這本書卻用非常貼近生活的方式，將光電技術的奧秘展現出來。它不像我過去接觸過的教科書那樣枯燥乏味，而是透過一個個有趣的實驗，引導我去探索光線的奇妙世界。書中介紹了如何利用簡單的器材，像是手機鏡頭、LED燈，甚至是一些日常生活中常見的物品，就能進行許多具有啟發性的實驗。我尤其喜歡書中關於「光學迷宮」的設計，利用光的反射和折射原理，製作出一個小小的互動裝置，大人小孩都可以一起玩，同時又能學習到光學的知識。還有關於「色彩混合」的實驗，讓我驚訝於原來紅、綠、藍三原色能夠組合出如此豐富的色彩。書中對於每一個實驗的說明都非常淺顯易懂，配上生動的插圖，讓我在閱讀的過程中完全沒有壓力。它讓我明白，科學並不是遙不可及的，而是存在於我們生活的點點滴滴之中。《光電技術實驗》不僅是一本實驗書，更是一本啟發思考、激發創意的科普讀物，非常適合親子共讀，一起享受探索科學的樂趣。

评分☆☆☆☆☆

《光電技術實驗》這本書，對我來說，不只是一本技術書，更像是一扇通往物理世界微觀奧秘的窗戶。我本身對量子力學和光子的概念一直很感興趣，但礙於缺乏實踐機會，總是難以深入理解。而這本書，恰恰填補了這個空白。它以非常系統化的方式，從基礎的光學概念出發，逐步深入到光與物質的相互作用，再到各種光電器件的原理與應用。書中對於費曼圖、半導體的光電特性等一些比較抽象的概念，都用非常易於理解的方式進行了闡述，並結合了許多經典的實驗案例。我嘗試了書中關於光電二極體響應時間的測量，以及利用干涉儀進行波長測定的實驗，這些都讓我對光的波動性和粒子性有了更深刻的體會。而且，書中對於實驗數據的處理和誤差分析也提供了非常詳細的指導，這對於培養科學研究的嚴謹性非常有幫助。我認為這本書不僅適合光電領域的學生，對於任何對物理學有濃厚興趣的讀者，都能從中獲得極大的啟發。它讓我看到，原來那些看似遙不可及的物理理論，是可以透過實際的實驗來驗證和理解的。《光電技術實驗》是一本集理論深度與實踐廣度於一身的優秀著作，它引導我用全新的視角去觀察和理解這個由光與物質編織而成的奇妙世界。

评分☆☆☆☆☆

這本《光電技術實驗》真的是讓我對光電技術的應用有了全新的認識。作為一個長期關注科技發展的觀察者，我總是對那些能夠改變我們生活方式的技術感到好奇。而光電技術，毫無疑問是其中最重要的一環。這本書從非常宏觀的角度，闡述了光電技術在各個領域的廣泛應用，從工業自動化、醫療診斷，到資訊傳輸、新能源開發，每一個方面都描繪得相當清晰。而且，書中並非只是停留在概念層面，而是透過實際的實驗，讓我們能夠親身體驗這些技術的原理。我特別對書中關於「智慧農業」的實驗印象深刻，利用光感測技術來監測植物的生長狀況，這讓我看到了科技如何能夠幫助我們更有效地利用資源。書中也提到了許多前沿的光電技術，像是雷射雷達（LiDAR）的原理，以及在自動駕駛汽車中的應用，這讓我對未來的科技發展充滿了期待。儘管我不是專業的技術人員，但透過這本書，我能夠更深入地了解光電技術是如何運作的，以及它將如何塑造我們的未來。它不僅是一本實驗書，更是一本充滿前瞻性的科技指南，能夠幫助我們更好地理解這個日新月異的世界。

评分☆☆☆☆☆

這本《光電技術實驗》絕對是我近期讀過最紮實、也最具實踐性的技術類書籍了！我本身是個對電子學領域有濃厚興趣的愛好者，一直想找一本能夠真正動手做的書來充實我的知識，而這本實驗書恰好完美地滿足了我的需求。它沒有過多華而不實的理論堆砌，而是將重點放在了實際操作與應用上。從基礎的光學元件，如透鏡、稜鏡的特性實驗，到更進階的光感測器、光耦合器等模組的應用，每一個實驗都設計得非常巧妙，能夠讓讀者循序漸進地掌握光電技術的核心概念。書中對於每一個實驗的材料清單、電路圖、操作步驟，以及預期結果的分析都鉅細靡遺，這對我們這種需要精確操作的技術愛好者來說，實在是太重要了。我嘗試了書中關於光電倍增管的實驗，親眼見證了微弱光訊號被放大的過程，那種成就感真的是難以言喻。而且，書中對於實驗數據的處理和結果的解讀也提供了相當詳細的指導，這對於培養科學研究的嚴謹態度非常有幫助。我認為這本書不僅是一本實驗指南，更是一本能夠引導讀者深入理解光電原理的寶典，對於有志於從事光電相關領域的學生或工程師來說，絕對是不可或缺的參考書。