随着Wii与iPhone热销效应下，微机电（MEMS）感测器应用市场从以往汽车工业，转往进入对尺寸、价格、功耗要求严苛的消费性电子市场。当电子产品走向轻、薄、短、小之际，异质整合系统便成为未来半导体产业发展重要方向，其中MEMS不仅能将传统之感测器（Sensor）、致动器（Actuator）等，整合成微米尺度的微小单元，发展成将所有机电感测器结构与类比和数位讯号处理功能，整合到单一晶片中，从而在晶片上创造出声学、惯性和射频系统，一个包含感测、致动、讯号处理、控制等多项功能的完整微型系统。根据国外市调机构Yole D?veloppement统计，2006年全球MEMS产业将有59亿美元产值，未来将持续保持两位数以上的正成长，到2011年产值将突破百亿美元大关，达108亿美元。应用范围也将由先前的光学产品、感测器、喷墨头，进一步扩展至RF开关、汽车电子、麦克风、投影机、人机介面装置、网路通讯、电信设备，甚至生物科技、医疗技术等不同领域。

　　近年来半导体制程技术日趋成熟，使制作MEMS元件之可行性大幅提昇，促使应用技术蓬勃发展；对于整体市场的发展方向，可分为MEMS系统、MEMS元件、设备及材料与化学四大区块。台湾挟晶圆代工技术领先全球之优势，CMOS MEMS将成为主流制程技术之一，与制作MEMS感测器元件相容性高，目前已有厂商抢进佈局，锁定方向包括MEMS感测器∕模组（如压力计、加速度计）及微投影显示器。台湾若能以CMOS MEMS制程大量生产特性，结合MEMS技术制作感测器元件，深信在制造成本上将是另一竞争优势。

第一章　MEMS应用市场趋势分析

1-1 前言

1-2 全球MEMS产业规模与制程技术趋势
一.MEMS产业现况分析介绍
二.MEMS元件制造技术分析
三.全球MEMS厂商发展动态

第二章　MEMS技术在消费电子的应用趋势

2-1 全球MEMS应用市场趋势分析
一.MEMS元件应用市场规模分析
二.全球MEMS元件应用市场分析
三.2009年MEMS技术在消费性电子应用市场比例大幅提昇

2-2 热门MEMS产品在消费性电子市场的应用
一.MEMS感测器应用市场
二.陀螺仪应用市场分析
三.MEMS麦克风应用市场分析
四.RF MEMS应用市场趋势分析

2-3 MEMS产品在手机产品的应用
一.惯性元件（Inertial Sensors）在手机应用发展分析
二.RF MEMS在手机应用发展分析

第三章　台湾MEMS产业与制程技术发展趋势

3-1 台湾MEMS产业发展将依循IC模式：先制造封测后设计

3-2 MEMS制程技术朝向积体化（Monolithic）发展—CMOS MEMS
一.CMOS MEMS整合技术发展概况
二.CMOS MEMS制程有助于晶圆代工业者切入MEMS领域

3-3 MEMS产业目前面临瓶颈－MEMS封装技术