具体描述
奈米科技使用更小型、省能、智慧、反应空间范围更小，却更有效率的生产工具，因此意味制程环境工业安全卫生将受到更多保障，受污染物理或化学反应危害将大为降低，但工作环境管理、厂务技术与知识的要求也将远比以往更加严苛。
对于奈米级厂务科技起步较晚的台湾，虽然基础技术与设备已逐渐完备，但一般民众对于奈米级环境科技的认知与认同度未明，本书完整说明奈米级厂务原理与技术、建造与施工、安全卫生与设施环境管理，可使读者充分认识奈米级厂务技术及工安卫管理，这将是企业提昇产品品质与创新价值、个人迈入奈米科技职场优势与竞争力的重要发展方向。
著者信息
图书目录
第一篇 绪论
1 奈米科技的发展与应用
1-1 奈米科技简介
1-2 奈米科技应用
1-3 各国推动奈米科技及产业之研发现况
2 奈米制程概述
2-1 半导体制造厂前段制程
2-2 半导体制造厂后段制程
3 厂务系统与洁净室
3-1 洁净室简介
3-2 洁净室的定义与分类
4 超洁净无尘室
4-1 超洁净无尘室组成
4-2 洁净室技术及其未来动向
第二篇 厂务技术与工程管理
5 洁净室空调系统
5-1 洁净室悬浮微粒的污染特性
5-2 冷冻空调原理
5-3 洁净室空调之循环、进气与排气系统
5-4 冰水、热水与二次冰水系统
5-5 洁净室的温、湿度控制
5-6 洁净室空调系统技术与未来方向
6 气体供应系统
6-1 大宗气体供应设备
6-2 半导体厂大宗气体纯化器
6-3 各类毒性气体特性
6-4 特殊气体管路设计
6-5 特殊气体的供应方式
6-6 气体监测器介绍
6-7 空气唿吸系统
7 特殊气体及化学品供应系统
7-1 特殊气体简介
7-2 特殊气体与监测系统
7-3 奈米级厂之化学品
8 纯水及废水系统
8-1 纯水系统
8-2 有机废水处理系统
8-3 无机废水处理系统
9 半导体工业之静电污染控制
9-1 静电对人体可能产生的危害
9-2 晶片静电污染及防制
9-3 迷你洁净室静电控制
10 洁净室烟控原理
10-1 国内现有防排烟模式分析
10-2 有效之烟控模式
11 噪音与振动
11-1 噪音
11-2 振动
11-3 洁净室之振动与噪音
12 火灾与消防侦监
12-1 消防系统简介
12-2 工业配电开关器材选用
12-3 监视系统
12-4 紧急广播系统
第三篇 建造规划与维护管理
13 奈米级厂建厂工程管理
13-1 合约与建厂
13-2 施工管理
14 洁净室施工管理
14-1 洁净室工程施工管理
14-2 洁净室测试
14-3 无尘室洁净度测试规范
14-4 洁净室测试与验收
15 监工人员教材
15-1 监工人员责任
15-2 监工人员注意事项
16 洁净室规划与运转管理
16-1 洁净室设计原则
16-2 洁净室规划
16-3 洁净室的系统结构
16-4 洁净室运转与维护管理
第四篇 环境卫生与工安管理
17 污染源及污染特性
17-1 空气污染源
17-2 废水污染源
17-3 废弃物污染源
17-4 污染物种类及特性
18 水污染防制技术
18-1 厂内管理及减废
18-2 处理原理及流程
18-3 废水分流蒐集及贮存系统
18-4 处理单元及设备操作维护
18-5 控制仪表
19 空气污染防制技术
19-1 空气污染物蒐集系统
19-2 废气处理系统
19-3 空气污染防制设备操作维护
20 废弃物处理
20-1 废弃物贮存
20-2 废弃物清除
20-3 废弃物减量
20-4 废弃物处理
21 奈米级产业工业安全卫生环保
21-1 工业安全卫生环保概述
21-2 半导体工业之危害
21-3 半导体安全卫生管理
附录
参考书目
图书序言
图书试读
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